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            HORIBA質(zhì)量流量控制器

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            參考價 6800
            訂貨量 1
            具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
            • 型號
            • 品牌 HORIBA/堀場
            • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
            • 所在地 上海市
            在線詢價 收藏產(chǎn)品

            更新時間:2021-04-16 14:03:48瀏覽次數(shù):2042

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            產(chǎn)品簡介

            產(chǎn)地類別 進(jìn)口 產(chǎn)品種類 電磁
            價格區(qū)間 面議 介質(zhì)分類 氣體
            應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,生物產(chǎn)業(yè),石油,地礦,電子/電池
            HORIBA SEC-E40V(MK3)質(zhì)量流量控制器
            Horiba SEC-E40 系列質(zhì)量流量控制器、流量計被廣泛的應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽能、實(shí)驗(yàn)室、環(huán)境監(jiān)測儀中。尤其在擴(kuò)散爐中得到了廣大客戶的支持。適用于從微小流量0.2sccm到大流量500slpm的控制。HORIBA質(zhì)量流量控制器

            詳細(xì)介紹

            HORIBA SEC-E40V(MK3)質(zhì)量流量控制器

            概要HORIBA質(zhì)量流量控制器

            ·  適用于廣泛范圍的流量控制:在同一系列中,適于從0.2SCCM500SLM(N2)的流量控制

            ·  適用于廣泛的用途:在普通產(chǎn)業(yè)市場中,擁有眾多的銷售業(yè)績,引以為豪。

            ·  低成本:產(chǎn)品陣容中有力求具有成本優(yōu)勢的型號: SEC-E40MK3、SEC-E50MK3

            Horiba SEC-E40 質(zhì)量流量控制器、流量計

            技術(shù)規(guī)格

            型號

            SEC- (質(zhì)量流量控制器)

            SEC-E40、SEC-E40MK3

            SEC-E50SEC-E50MK3

            SEF- (質(zhì)量流量計)

            SEF-E40

            E50

            適用氣體種類*1

            非腐蝕性氣體(MK3型號適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He)

            氣體接觸部材質(zhì)

            SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼

            閥門型號

            非通電時 關(guān)閉

            標(biāo)準(zhǔn)流量量程 (N2相應(yīng)F.S.)

            10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM

            20/30 SLM

            流量控制范圍
            (適于SEC系列)

            2?100% F.S.

            流量測量范圍
            (適于SEF系列)

            0?100% F.S.

            響應(yīng)速度

            1秒以內(nèi)(T98)

            流量精度

            ±1% F.S.

            直線性

            ±0.5% F.S.

            反復(fù)性

            ±0.2% F.S.

            工作差壓值值
            (適于SEC系列)

            10 SCCM?5 SLM50?300kPa(d) 10?30 SLM:100?300kPa(d)

            使用壓力
            (適于SEF系列)

            300kPa(G)以下

            耐 壓

            1MPa(G)以下

            外部泄漏率

            1×10-8Pa?m3/s(He)以下

            使用環(huán)境溫度

            5?50(精度的確保:15?35)

            流量設(shè)定信號

            0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2?100% F.S.

            流量輸出信號

            0?5VDC(小負(fù)荷電阻2kΩ)

            驅(qū)動電源

            +15VDC ±5% 50mA

             -15VDC ±5% 150mA 3VA

            15VDC ±5% 50mA

            −15VDC ±5% 200mA 3.9VA

            標(biāo)準(zhǔn)接頭*2

            1/4SWL 類型

             

            型號

            SEC- (質(zhì)量流量控制器)

            SEC-E60

            SEC-E70

            SEC-E80

            SEF- (質(zhì)量流量計)

            E60

            E70

            E80

            適用氣體種類*1

            N2、O2、AirH2、ArC3H8、CH4C4H10

            N2、O2、Air、H2

            氣體接觸部材質(zhì)

            SUS316.氟化橡膠、磁性不銹鋼

            閥門型號

            非通電時 關(guān)閉

            標(biāo)準(zhǔn)流量量程 (N2相應(yīng)F.S.)

            50/100 SLM

            200 SLM

            300/500 SLM

            流量控制范圍 (適于SEC系列)

            5?100% F.S.

            流量測量范圍 (適于SEF系列)

            0?100% F.S.

            響應(yīng)速度

            1秒以內(nèi)(T98)

            2秒以內(nèi)(T98)

            流量精度

            ±1% F.S.

            ±2% F.S.

            直線性

            ±0.5% F.S.

            ±1% F.S.

            反復(fù)性

            ±0.5% F.S.

            ±1% F.S.

            工作差壓值值(適于SEC系列)

            100?300kPa(d)

            200?350kPa(d)

            使用壓力 (適于SEF系列)

            350kPa(G)以下

            耐 壓

            1MPa(G)以下

            外部泄漏率

            1×10-7Pa?m3/s(He)以下

            450kPa(G)加壓10分鐘減壓1%以內(nèi)

            使用環(huán)境溫度

            5?45(精度的確保:15?35)

            流量設(shè)定信號

            0.25?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/5?100% F.S.

            流量輸出信號

            0?5VDC(小負(fù)荷電阻2kΩ)

            驅(qū)動電源

            15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA

            標(biāo)準(zhǔn)接頭*2

            3/8SWL 類型

            1/2SWL 類型

            *1:關(guān)于記載以外的氣體種類,請另行咨詢協(xié)商。
            *2也可以適用標(biāo)準(zhǔn)接頭以外的接頭。請另行咨詢協(xié)商。
            SEC-E40/E50/E40MK3/E50MK3搭載有自動清零功能。
            入口壓力是SEC-E40/50/60/E40MK3/E50MK3大值300kPa(G);SEC-70/80大值350kPa(G)以下。
             SCCM、SLM是表示氣體的流量單位(mL/minL/min、at、0、101.3kPa)的記號。

            HORIBA SEC-E40V(MK3)質(zhì)量流量控制器

            本公司同時提供美國AALBORG、美國NK、日本圖技、日本HORIBASTEC質(zhì)量流量計、質(zhì)量流量控制器、數(shù)字式質(zhì)量流量控制器、耐腐蝕質(zhì)量流量控制器,記錄儀HORIBA質(zhì)量流量控制器

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