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HORIBA STEC SEC-N132JM質(zhì)量流量控制器
適用于多種不同的產(chǎn)業(yè)應(yīng)用?？蓪?shí)現(xiàn)大范圍控制從10SCCM至1000SLM。
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
HORIBA STEC SEC-N132JM質(zhì)量流量控制器
HORIBA STEC SEC-N132JM質(zhì)量流量控制器
概要
適用于多種不同的產(chǎn)業(yè)應(yīng)用?？蓪?shí)現(xiàn)大范圍控制從10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多種不同通訊方式（數(shù)字式/模擬式， CC-Link®, PROFIBUS™, 以及 EtherCAT®），高精度（± 1.0% S.P. *1），快速響應(yīng)。同時(shí)這款MFC支持多氣體/多量程功能，有效減少客戶成本。
特征
- 大范圍控制，從微小流量至大量程，10SCCM~1000SLM
- 多種通訊方式及電源供給
快速響應(yīng)
在可控流量范圍內(nèi),響應(yīng)時(shí)間≦1 sec
- 功能
PID 數(shù)據(jù)能夠根據(jù)客戶不同的流量設(shè)定進(jìn)行調(diào)整
- 性能表現(xiàn)
更為穩(wěn)定的輸出流量信號(hào)
即使在氣體種類和全量程更改后，仍能夠保證響應(yīng)時(shí)間≦1 sec
內(nèi)置PID參數(shù)，可以調(diào)整響應(yīng)速度
產(chǎn)品規(guī)格
型號(hào) | SEC-N11- | SEC-N12- | SEC-N13- | SEC-N14- |
全程流量范圍 | 10SCCM-10SLM | 11SLM-50SLM | 51SLM-100SLM | 101SLM-200SLM |
可控流量范圍 | 2~*全流量 | |||
精度 | ±1%設(shè)定流量（設(shè)定流量＞30%全流量） ±0.3%全流量（設(shè)定流量≤30%全流量） | |||
響應(yīng)速度 | ≤1秒 | |||
氣路材質(zhì) | SUS 316L,PTFE,磁性不銹鋼 | SUS 316L | ||
密封圈材質(zhì) | 金屬/橡膠 | |||
閥門類型 | NC;常閉 | NC；常開 NO; 常開 | ||
適用的差壓范圍 | 50~300Kpa(d);~3slm 100~300Kpa(d);~10slm | 200~300KPa | 100~300KPa | 200~300KPa |
抗壓能力 | 100KPa（g） | |||
產(chǎn)品外漏水平 | ＜5X10-12Pa·m3/s（He）;金屬密封 ＜1X10-10Pa·m3/s（He）;橡膠密封 | |||
接口 | 1/4VCR 124mm | 1/2VCR 132mm | ||
數(shù)字式通訊協(xié)議 | RS-485 | |||