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            上海添時科學儀器有限公司

            PRODUCT DISPLAY

            當前位置:上海添時科學儀器有限公司>>管式爐>>PECVD系統(tǒng)>> OTF-1200X-Ⅱ-4CV-PE-SL-UL滑動式雙溫區(qū)PECVD

            滑動式雙溫區(qū)PECVD

            參  考  價:面議
            具體成交價以合同協(xié)議為準

            產(chǎn)品型號:OTF-1200X-Ⅱ-4CV-PE-SL-UL

            品       牌:其他品牌

            廠商性質:代理商

            所  在  地:上海市

            更新時間:2025-03-13 09:32:13瀏覽次數(shù):2317次

            聯(lián)系我時,請告知來自 化工儀器網(wǎng)
            產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應用領域 環(huán)保,能源,電子/電池
            OTF-1200X-1I-4CV-PE-SL是一款滑動式雙溫區(qū)PECVD 管式爐系統(tǒng)。該系統(tǒng)包含等離子射頻電源,80mm 0D1800mm L的滑動式雙溫區(qū)管式爐,4通道質量流量供氣系統(tǒng)和機械泵機組,可用于生長納米或石墨烯材料。

            產(chǎn)品特點:

            射頻電源可實現(xiàn)等離子增強從而顯著降低實驗溫度;

            滑軌式可快速加熱和快速冷卻;

            兩個加熱區(qū),溫度梯度最大可達 200°c;

            可在溫度范圍較大的條件下制備材料,如碳、Zn0納米管或納米線及單層石墨烯等。

            加熱爐參數(shù):

            最高溫度:1200°C<30min),連續(xù)工作溫度:1100℃;

            兩個PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng);

            輸入功率:208-240V,單相,最大功率:3KW;

            高純氧化鋁纖維保溫層可以最大限度降低能耗;

            爐體開啟式設計,以達到對樣品快速降溫,方便更換爐管。

            射頻電源:

             

            image.png 

            真空系統(tǒng):

            •·采用TRP-12的雙旋真空泵;

            • KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵;

            真空度可達10-2Torr

            供氣系統(tǒng)(可選):

            客戶可選購四通道質子流量計控制系統(tǒng)實現(xiàn)氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%;

            流量范圍:

            image.png 

            電壓:208-240V, AC, 50/60Hz;

            氣體進出口配件:6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管;

            不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出;

            • PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設置。

            產(chǎn)品尺寸和重量:

            設備總體尺寸:2200mmL 800mmW 1500mmH

            凈重:610kg

            注意:

            采用氬氣高于射頻功率200W情況下,需特殊說明:設備需要特殊改造幾測試,(有法蘭過熱情況)

            質保:

            一年保質期,終身維護,不包括爐管,硅膠密封圈和加熱元件

            因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)


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