本測試裝置為綜合性測試系統(tǒng)，設(shè)計為測試臺結(jié)構(gòu)，主要由先進的多功能樣品夾具，高精度數(shù)字電壓表、寬量程高穩(wěn)定直流恒定電流源，微處理機系統(tǒng)等部分組成，多功能樣品夾具由特殊導(dǎo)電合金精密加工而成，接觸良好，導(dǎo)電性能好，具有定位精度高等特點，高精度數(shù)字電壓表靈敏度高、用LED 4 1/2位數(shù)字顯示。

四探針電阻率測試儀的其它功能，按儀器說明書的指標(biāo)要求進行檢查，判斷是否合格。按儀器說明書的要求，在電阻率測試儀測量范圍內(nèi)，選擇相對就的標(biāo)準(zhǔn)樣片作為被測對象對標(biāo)準(zhǔn)樣片中心點（0.25mm以內(nèi)）的電阻率進行正反向各10次測量，并按（11）式計算電阻率的相對誤差。對探針壓痕直徑及其間距的檢定，其要求和方法與探針檢定相同。

用標(biāo)準(zhǔn)樣片檢定電阻率測試儀，由檢定結(jié)果中找出zui大的相對誤差，如果zui大相對誤差超過儀器標(biāo)定的準(zhǔn)確度，則說明儀器超差。對于檢定后的各項指標(biāo)都合格的電阻率測試儀，出具檢定合格證書。在證書中注明標(biāo)準(zhǔn)樣片的實際值和測量值，給出測量的誤差值，給出探針頭的修正系數(shù)。如果用戶要求給出全部探針指標(biāo)，也可近十萬大山 要給出全部探頭指標(biāo)，若探頭為不合格，則必須指出哪項指標(biāo)或n項指標(biāo)不合格。對自動或半自動電阻率測試儀，只要有一項功能不合格要求時，就按不合格儀器處理。對于檢定后的有一項以上指標(biāo)不合格的電阻率測試儀，出具檢定結(jié)果通知書并在通知書中注明不合格項目。此外在檢定證書或通知書中一股不用給檢定總不確定度，若用戶需要可滿足用戶要求。但必須注明，檢定時的溫度、、相對溫度及實驗室條件等項目。對檢定后不合格的電阻率測試儀經(jīng)修理后仍需要重新按檢定要求檢定。