為什么會使用進口氫氣發(fā)生器？化學氣相沉積法是利用氣態(tài)或蒸汽狀態(tài)的物質在固體表面上進行化學反應，從而形成所需要的固態(tài)薄膜或涂層的過程，是制備無機材料的方法。其中，用氫氣還原鹵化物來制備各種金屬或多晶硅薄膜是尤為常用的化學反應，此還原反應的方法應用范圍廣泛，可制備單晶、多晶以及非晶薄膜，另外也容易摻雜。作為反應中*的還原氣體，氫氣在CVD反應中扮演著極其重要的作用。
傳統(tǒng)的方法是使用氫氣鋼瓶作為氫氣氣源，這種方式不僅使用起來不方便，氫氣是易燃易爆氣體，在運輸過程中還存在極大的安全隱患。因此，氫氣發(fā)生器便成為了代替氫氣鋼瓶的*。如今，進口氫氣發(fā)生器已廣泛應用于CVD實驗，是化學氣相沉積應用的可靠且安全的氫氣氣源。
進口氫氣發(fā)生器應用優(yōu)勢：
1.高純度：作為反應中*的還原氣體，高純度氫氣在CVD反應中扮演著極其重要的作用。氫氣中微量氧或水蒸氣等雜質會對沉積過程產生很大影響，當有氧存在時，沉積物的晶粒劇烈生長，并伴有分層現(xiàn)象出現(xiàn)。氫氣發(fā)生器采用三重過濾技術，所產氫氣純度>99.9999%，氧氣含量<1ppm，水含量<1ppm，過濾技術及氫氣純度都為市場優(yōu)先選擇。
2.安全性：氫氣發(fā)生器因其即產即用、按需供給的特點，成為極為安全、可靠的氫氣氣源。采用PEM質子交換膜電解純水的原理產生高純氫氣，無需添加堿液，即插即用，使用方便，而且具有開機自檢、壓力報警等特性，全面保障發(fā)生器的安全性。
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