ZDF―Ⅲ型系列電阻/電離復(fù)合真空計(jì)是基于低
真空測(cè)量電阻單元(ZJ-52T電阻規(guī))與高真空測(cè)量電
離單元(ZJ-10電離規(guī))技術(shù)組合，以完成1×105~1
×10-4Pa連續(xù)測(cè)量與控制。因此該真空計(jì)系列具有
電阻真空計(jì)與電離真空計(jì)所有技術(shù)參數(shù)與性能特
點(diǎn)；同時(shí)又增加了新的功能。該真空計(jì)系列具有兩
種工作模式：手動(dòng)模式與自動(dòng)模式。手動(dòng)模式工作
時(shí)，相當(dāng)于獨(dú)立的電阻真空計(jì)和電離真空計(jì)；
熱偶、電離復(fù)合真空計(jì)
型號(hào)：ZDF―Ⅲ
儀器資料：
◆概述：
ZDF―Ⅲ型系列電阻/電離復(fù)合真空計(jì)是基于低
真空測(cè)量電阻單元（ZJ-52T電阻規(guī)）與高真空測(cè)量電
離單元（ZJ-10電離規(guī)）技術(shù)組合，以完成1×105~1
×10-4Pa連續(xù)測(cè)量與控制。因此該真空計(jì)系列具有
電阻真空計(jì)與電離真空計(jì)所有技術(shù)參數(shù)與性能特
點(diǎn)；同時(shí)又增加了新的功能。該真空計(jì)系列具有兩
種工作模式：手動(dòng)模式與自動(dòng)模式。手動(dòng)模式工作
時(shí)，相當(dāng)于獨(dú)立的電阻真空計(jì)和電離真空計(jì)；自動(dòng)
模式工作時(shí)，首先電阻單元進(jìn)入測(cè)量，當(dāng)電阻單元
測(cè)量真空度高于電離規(guī)可以開啟的真空度時(shí)，電離
規(guī)燈絲自動(dòng)被點(diǎn)亮（開啟），并進(jìn)入高真空測(cè)量，實(shí)
現(xiàn)了從大氣壓（常壓）到高真空的自動(dòng)連續(xù)測(cè)量。還
增加了外設(shè)（PLC）開閉電離規(guī)功能，以實(shí)現(xiàn)電離規(guī)
工作于*真空環(huán)境，使電離規(guī)工作壽命zui大化。
部份機(jī)型采用了開關(guān)電源供電及開關(guān)直流電源驅(qū)功
穩(wěn)定電離規(guī)燈絲發(fā)射電路，實(shí)現(xiàn)了高度集成無工頻
變壓器設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了電離規(guī)燈絲冷態(tài)預(yù)熱緩啟功，
克服了電離規(guī)燈絲冷態(tài)啟動(dòng)過沖現(xiàn)象，延長(zhǎng)了規(guī)管
壽命，實(shí)現(xiàn)了寬廣的交流電源適應(yīng)能力（AC/90V
~260V），實(shí)現(xiàn)了寬廣的電纜線長(zhǎng)度自適應(yīng)能力
（3-30米）。是目前穎的電離規(guī)燈絲驅(qū)動(dòng)穩(wěn)定技
術(shù)。為適應(yīng)真空設(shè)備自動(dòng)化技術(shù)，并集成了強(qiáng)大的
繼電器觸點(diǎn)控制、串行通訊、真空模擬量等擴(kuò)展功
能。特別適用于真空應(yīng)用設(shè)備極限真空為10-2-10-
3Pa量級(jí)，工作真空為10-1-10-2Pa量級(jí)從大氣壓
（常壓）至高真空的測(cè)量與控制。
◆技術(shù)參數(shù)：
*規(guī)管型號(hào)：電阻規(guī)ZJ-52T/電離規(guī)ZJ-10
*測(cè)量范圍：連續(xù)測(cè)量（自動(dòng)模式）1×105~1×
10-4Pa
獨(dú)立測(cè)量（手動(dòng)模式）電阻單
元1×105~1×10-1Pa；電離單元5~1×10-4Pa
*測(cè)量路數(shù)：1低1高
*控制范圍：
電阻單元2.5×103~1×100Pa
電離單元5×100～1×10-
3Pa
*控制路數(shù)：4路可擴(kuò)展至4或8路
*控制精度：±1%
*控制方式：繼電器觸點(diǎn)輸出，負(fù)載能力
AC220V/3A（或DC28V/3A）無感負(fù)載
*去氣方式：轟擊去氣
*儀器采樣時(shí)間：1S
*電源：90-260V/50Hz或220V±10%50Hz
*功耗：55W
*重量：6Kg/5Kg/4Kg（視機(jī)箱尺寸而定）
*機(jī)箱尺寸：240×88×280或480×88×280
265×119×280或480×119×280
（寬×高×深）
◆性能特點(diǎn)：
*LED綠屏數(shù)字顯示
*寬廣的測(cè)量范圍
*快速的反應(yīng)速度
*微處理器修正規(guī)管非線性，減少了測(cè)量誤差
*精密真空信號(hào)放大電路，穩(wěn)定的零點(diǎn)和滿度
*寬廣的穩(wěn)發(fā)射回路，自適應(yīng)調(diào)節(jié)穩(wěn)定電離規(guī)發(fā)射
電流
*全量程自動(dòng)切換，無需手動(dòng)換檔
*超量程自動(dòng)保護(hù)，不會(huì)因系統(tǒng)突然曝露大氣而損
壞規(guī)管。
*光電隔離，數(shù)字濾波，優(yōu)異的抗*力，穩(wěn)
定、可靠的真空測(cè)量
*功能化、模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
*點(diǎn)控或區(qū)域控制，控制上、下限區(qū)間任意設(shè)定
*控制點(diǎn)掉電（失電）保護(hù)，記憶功能。
*簡(jiǎn)化功能按鍵，操作十分簡(jiǎn)單，不會(huì)因操作失誤
而損壞規(guī)管或儀器。
*PVC彩色面板，外型美觀大方
◆選配擴(kuò)展功能及選件：
*選配功能:0～5/10V/10mV，0/4～10/20mA等
真空度摸擬量輸出
*選配功能:打印機(jī)接口
*選配功能:RS232、RS485等單向或雙向接口輸
出
*選配功能:打印機(jī)接口
*規(guī)管接口選件：15.5外徑玻規(guī)；15.5外徑金屬
直管DN16/25/35CF;DN10/16/25/40KF;NPT;VCR;G
管螺紋等接口
*線長(zhǎng)選件:3米/5米/10米/15米/20米/25米/30
米......zui長(zhǎng)至100米
◆說明：
1、電阻單元有效測(cè)量范圍：3×103～5×10-
1Pa
1×105～3×103Pa及5×10-1～
1×10-1Pa測(cè)量值僅作參考。
2、電阻單元測(cè)量值（用干燥空氣或氮?dú)庑?zhǔn)的
值）與氣體成份有關(guān)，若需測(cè)量特殊氣體的真空度，應(yīng)選用其它相應(yīng)型號(hào)的真空計(jì)。
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