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CS-3200

525 系列 — 表面粗糙度 / 輪廓測量裝置

特點(diǎn)

• 驅(qū)動器(X1 軸) 與立柱(Z2 軸) 均配備有高精度光柵尺(ABS 型)，從而可實(shí)現(xiàn)豎直方向與水平方向運(yùn)動中的全自動測量。小孔沿豎直方向的連續(xù)自動測量與難于定位部件的重復(fù)測量的再現(xiàn)性得以改進(jìn)。

• 為避免驅(qū)動器與工件之間的相互干擾，檢出器可加以延伸擴(kuò)展。所有檢出器與驅(qū)動器的連接線均封裝在主機(jī)內(nèi)部，以防磨損并確保無障礙高速運(yùn)行。

• 當(dāng)輪廓檢出器(工廠安裝選件)3000*或 4000* 時，Z1 軸(高) 方向的測量范圍由5mm 急劇增加到 50mm。

• 驅(qū)動器(X1 軸) 傾斜功能強(qiáng)力支持傾斜平面的測量及不易移動的重型工件的測量。

基本技術(shù)參數(shù):

基座尺寸 (W x D): 600 x 450mm

基座材料: 花崗巖

尺寸 (W x D x H): 756 x 482 x 966mm (主機(jī))

重量: 140kg (主機(jī))

電源: 100 – 240V AC ±10%, 50/60Hz

能耗: 400W (主機(jī))

技術(shù)參數(shù):

X1 軸

測量范圍: 100mm

分辨率: 0.05μm

驅(qū)動速度: 0 - 80mm/s 外加手動

測量速度: 0.02, 0.05, 0.1, 0.2mm/s

(在表面粗糙度測量時)

0.02, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2mm/s

(在輪廓測量時)

測量方向: 向前／向后

直線度: 0.2μm/100mm (0.4μm/100mm: 在輪

廓測量時)

* 以X1 軸為水平方向上

指示精度 (20ºC): ±(0.8+0.01L)μm

L = 驅(qū)動長度 (mm)

傾斜范圍: ±45º

Z1 軸

測量范圍: 5mm

分辨率: 80nm (5mm 范圍)

8nm (0.5mm 范圍)

0.8nm (0.05mm 范圍)

指示精度 (20ºC): ±(1.5+I2HI/100)μm

H 為基于水平位置的測量高度 (mm)

測力: 0.75mN

跟蹤角度: 向上: 65º, 向下: 65º

(使用配置的標(biāo)準(zhǔn)測頭，依表面粗糙度而定)

測針針尖 (標(biāo)準(zhǔn)型): 金剛石針尖,

針尖角度: 60º, *半徑: 2μm

測針針尖 (圓錐): 藍(lán)寶石針尖,

針尖角度: 30º, *半徑: 25μm

測針方向: 向下

Z2 軸 (立柱)

立柱移動: 300mm

分辨率: 1μm

驅(qū)動速度: 0 - 20mm/s 外加手動

本

性能參數(shù)