国产精品免费_区二区三区观看_久久精品国产99精品国产2021_久久精品国产欧美日韩99热_国产欧美精品一区二区三区四区_国产黄在线观看免费观看不卡_亚洲国产一区二区三区a毛片_国语精品91自产拍在线观看二区_国产乱码精品一区二区三区卡 ,亚洲成a人v欧美综合天堂麻豆-久久久免费精品国产色夜-国产97色在线 | 亚洲-国产熟妇高潮呻吟喷水-久久精品国产99精品国产2021 ,亚洲欧美精品综合中文字幕_国产精品v欧美精品v日韩_国产日韩欧美一区二区三区在线_亚洲一区二区三区在线播放_91麻豆精品国产自产在线观看一区_在线观看91精品国产麻豆蜜桃_麻豆果冻国产91在线极品_91精品国产福利尤物免费_亚洲国产精品久久久久蜜桃噜噜

狠狠色丁香久久综合婷婷亚洲成人福利在线-欧美日韩在线观看免费-国产99久久久久久免费看-国产欧美在线一区二区三区-欧美精品一区二区三区免费观看-国内精品99亚洲免费高清

上海爾迪儀器科技有限公司

021-61552797

technology

首頁 >> 技術(shù)文章 >> 等離子蝕刻機(jī)的結(jié)構(gòu)

上海爾迪儀器科技有限公司

查看電話 在線咨詢

立即詢價(jià)

您提交后，專屬客服將第一時(shí)間為您服務(wù)

點(diǎn)擊提交代表您同意《用戶服務(wù)協(xié)議》《隱私政策》

等離子蝕刻機(jī)的結(jié)構(gòu)

閱讀：2288 發(fā)布時(shí)間：2021-6-30

等離子刻蝕機(jī)，又叫等離子蝕刻機(jī)、等離子平面刻蝕機(jī)、等離子體刻蝕機(jī)、等離子表面處理儀、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子刻蝕，是干法刻蝕中最常見的一種形式，其原理是暴露在電子區(qū)域的氣體形成等離子體，由此產(chǎn)生的電離氣體和釋放高能電子組成的氣體，從而形成了等離子或離子，電離氣體原子通過電場加速時(shí)，會(huì)釋放足夠的力量與表面驅(qū)逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。

結(jié)構(gòu)

ICP 設(shè)備主要包括預(yù)真空室、刻蝕腔、供氣系統(tǒng)和真空系統(tǒng)四部分。

（1）預(yù)真空室

預(yù)真空室的作用是確保刻蝕腔內(nèi)維持在設(shè)定的真空度，不受外界環(huán)境（如：粉塵、水汽）的影響，將危險(xiǎn)性氣體與潔凈廠房隔離開來。它由蓋板、機(jī)械手、傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、隔離門等組成。

（2）刻蝕腔體

刻蝕腔體是ICP 刻蝕設(shè)備的核心結(jié)構(gòu)，它對刻蝕速率、刻蝕的垂直度以及粗糙度都有直接的影響?？涛g腔的主要組成有：上電極、ICP 射頻單元、RF 射頻單元、下電極系統(tǒng)、控溫系統(tǒng)等組成。

（3）供氣系統(tǒng)

供氣系統(tǒng)是向刻蝕腔體輸送各種刻蝕氣體，通過壓力控制器（PC）和質(zhì)量流量控制器（MFC）精準(zhǔn)的控制氣體的流速和流量。氣體供應(yīng)系統(tǒng)由氣源瓶、氣體輸送管道、控制系統(tǒng)、混合單元等組成。

（4）真空系統(tǒng)

真空系統(tǒng)有兩套，分別用于預(yù)真空室和刻蝕腔體。預(yù)真空室由機(jī)械泵單獨(dú)抽真空，只有在預(yù)真空室真空度達(dá)到設(shè)定值時(shí)，才能打開隔離門，進(jìn)行傳送片?？涛g腔體的真空由機(jī)械泵和分子泵共同提供，刻蝕腔體反應(yīng)生成的氣體也由真空系統(tǒng)排空。

會(huì)員登錄

請輸入賬號

請輸入密碼

請輸驗(yàn)證碼

收藏該商鋪

查看我的收藏夾設(shè)置標(biāo)簽

標(biāo)簽：: 保存成功
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)

常用：

提示

您的留言已提交成功！我們將在第一時(shí)間回復(fù)您~

以上信息由企業(yè)自行提供，信息內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé)，化工儀器網(wǎng)對此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。溫馨提示：為規(guī)避購買風(fēng)險(xiǎn)，建議您在購買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。