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臺階儀屬于接觸式表面形貌測量儀器 。根據(jù)使用傳感器的不同，接觸式臺階測量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。

產品特點：

·操作簡易，從研發(fā)到質量控制都有更好的過程控制。

·能夠在微電子，半導體，太陽能、超高亮度發(fā)光二極管（LED）、醫(yī)學、材料科學等行業(yè)實現(xiàn)納米級表面形貌測量。

·測量精度較高、量程大、測量結果穩(wěn)定可靠、重復性好

·可以作為其它形貌測量技術的比對

主要應用范圍：

·大學、研究實驗室和研究所
·半導體和化合物半導體
·LED：發(fā)光二極管

·太陽能
·MEMS：微機電系統(tǒng)
·數(shù)據(jù)存儲
·汽車
·醫(yī)療設備

布魯克DektakXT臺階儀（探針式表面輪廓儀）是一項創(chuàng)新性的設計，可以提供重現(xiàn)性，重現(xiàn)性低于4A。臺階儀這項性能的提高達到了過去四十年 Dektak 技術創(chuàng)新，更加鞏固了其行業(yè)地位。通過整合其行業(yè)產品，DektakXT實現(xiàn)了高性能。