首先是檢查，在開啟薄膜沉積控制儀設(shè)備之前需要對(duì)設(shè)備做一個(gè)大致的檢查，首要的是各種機(jī)械以及電器部分，同時(shí)檢查螺栓是不是出現(xiàn)了松動(dòng)，因?yàn)樵O(shè)備運(yùn)行過程中螺栓起的作用，所以在設(shè)備檢查的時(shí)候不能忽視這一點(diǎn)。

　　設(shè)備的潤滑狀況也是在初期的時(shí)候不可忽視的因素，在檢查的時(shí)候需要整理薄膜沉積控制儀設(shè)備個(gè)點(diǎn)潤滑是不是正常。不止如此，薄膜沉積控制儀的傳動(dòng)部分以及相應(yīng)的動(dòng)力部分都是在檢查的時(shí)候關(guān)注的重要事項(xiàng)。從設(shè)備的安全性考慮，薄膜沉積控制儀的防護(hù)裝置也是在檢查的時(shí)候重點(diǎn)考慮的事項(xiàng)。

　　

　　檢查設(shè)備確定檢查無誤之后，就可以接通電源啟動(dòng)相應(yīng)的電流，同時(shí)在啟動(dòng)設(shè)備時(shí)候盡量避免薄膜沉積控制儀啟動(dòng)不得超過兩次，同時(shí)*次和第二次的相互間隔速度必須要超出10分鐘以上。