整合了Nucleus PlusTM 技術(shù)，薄膜沉積控制儀在模塊化的基礎(chǔ)上建立了溫度測(cè)量薄膜

控制系統(tǒng)。支持?jǐn)U展4個(gè)輸入輸出口和探頭（2個(gè)標(biāo)準(zhǔn)儀器），實(shí)時(shí)的頻率-溫度曲線

和500℃操作晶體。傳統(tǒng)的檢測(cè)和測(cè)量手段由于忽視了晶體溫度的變化帶來(lái)了極大的

誤差，通常誤差為10%，在錯(cuò)誤的環(huán)境下誤差可以為*。菲利浦通過(guò)監(jiān)測(cè)實(shí)時(shí)的溫

度變化，從而對(duì)薄膜進(jìn)行高精度極低誤差控制。

薄膜沉積控制儀有非常高的穩(wěn)定度和菲利浦產(chǎn)品慣有的精密度。6MHz（AT or RC

）的石英晶體*的應(yīng)用在了薄膜沉積領(lǐng)域。

功能齊全

可擴(kuò)展的額外組件比如前面板的外部控制界面和后面板的探頭、I/O卡。Millennium 控制系統(tǒng)包含一個(gè)過(guò)溫控制繼電器（以防探頭冷卻失靈）和輸入/輸出的可編輯性，給您全部的軟件功能控制。

技術(shù)參數(shù)

探頭2個(gè)BNC 連接端（需要外部振蕩器）

溫度2 type K TC

輸入源2 0-5 VDC 輸入控制

繼電器（不可編輯） 2個(gè)單刀單擲開(kāi)關(guān)

輸入端（可編輯） 8個(gè)獨(dú)立的5V輸入端

輸出端（可編輯） 8個(gè)5A單刀單擲開(kāi)關(guān)繼電器

遠(yuǎn)程電源手動(dòng)電源控制-前面板FOB連接頭

可擴(kuò)展輸入源卡2個(gè)輸入源、探頭、繼電器和type K TC

輸入：8個(gè)獨(dú)立的5V輸入端

輸出：8個(gè)5A單刀單擲

DAC 記錄器可根據(jù)用戶的選擇出發(fā)

參數(shù)用戶可以擴(kuò)展 0-5V輸出速率和厚度

測(cè)量參數(shù)

頻率分辨率0.001Hz@6MHz(1s一個(gè)點(diǎn)）

采樣率0.5Hz to 100Hz

傳感器晶體頻率5,6,7,8,9,10MHz

顯示參數(shù)

厚度（自動(dòng)量程） 9999.9 to -999 kA

速率 (自動(dòng)量程) 9999.9 to -999 A

電源00.00 to 99.99%

時(shí)間0 to 99:59:59 HH:MM:SS

層數(shù)0 to 999

屏幕800x480 Full Color Touch Screen

標(biāo)準(zhǔn)硬件

可擴(kuò)展I/O卡

連接參數(shù)

標(biāo)準(zhǔn)方式：RS232  USB(Process Programming)

可選方式：以太網(wǎng)

創(chuàng)建程序：所有程序可以通過(guò)觸摸屏和鍵盤編輯CactusProg 

可以在PC上創(chuàng)建菜單并可以通過(guò)U盤等閃存轉(zhuǎn)移性能無(wú)限制的操作選項(xiàng)和編程

性能     無(wú)限制的操作選項(xiàng)和編程

標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)

PTTC-RM QUARK主機(jī)+1個(gè)探頭+1個(gè)輸入輸出口

PTTC-RM2 QUARK主機(jī)+2個(gè)探頭+1個(gè)輸入輸出口

PTTC-RM4 QUARK主機(jī)+2個(gè)探頭+2個(gè)輸入輸出口

PTTC-RME1 QUARK主機(jī)+1個(gè)探頭+2個(gè)輸入輸出口+以太網(wǎng)

PTTC-RME2 QUARK主機(jī)+2個(gè)探頭+1個(gè)輸入輸出口+以太網(wǎng)

PTTC-RME4 QUARK主機(jī)+2個(gè)探頭+2個(gè)輸入輸出口+以太網(wǎng)