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X射線熒光光譜儀的檢測原理
X射線：
X射線是由于原子中的電子在能量相差懸殊的兩個(gè)能級之間的躍遷而產(chǎn)生的粒子流，是波長介于紫外線和γ射線之間的電磁波。其波長很短，約介于0.001~50納米之間。若電子從外層進(jìn)入內(nèi)層填補(bǔ)空穴（由高能級進(jìn)入低能級），則能量差以光子的形式釋放出來，這些光子形成的粒子流即為X射線。如L層電子進(jìn)入K層釋放Kα射線，M層電子進(jìn)入K層釋放Kβ射線。
XRF定性分析：
XRF定量分析：
X射線是由于原子中的電子在能量相差懸殊的兩個(gè)能級之間的躍遷而產(chǎn)生的粒子流，是波長介于紫外線和γ射線之間的電磁波。其波長很短，約介于0.001~50納米之間。若電子從外層進(jìn)入內(nèi)層填補(bǔ)空穴（由高能級進(jìn)入低能級），則能量差以光子的形式釋放出來，這些光子形成的粒子流即為X射線。如L層電子進(jìn)入K層釋放Kα射線，M層電子進(jìn)入K層釋放Kβ射線。
熒光X射線：
熒光X射線本質(zhì)也是X射線，其有效波長約為0.01~4.5nm，是由原級X射線（一般由X射線管產(chǎn)生，能量高）照射樣品激發(fā)產(chǎn)生的二次X射線。當(dāng)原級X射線照射在樣品上時(shí)，原子中的內(nèi)層（如K層）電子被X射線激發(fā)后逸出（光電子），并在K層產(chǎn)生一個(gè)空穴，外層電子填充K層空穴時(shí)，會(huì)釋放一定的能量，當(dāng)該能量以X射線輻射的形式釋放出來時(shí)產(chǎn)生具有該元素特征的二次X射線，即特征熒光X射線。
XRF定性分析：
原級X射線照射到樣品上，各元素原子受到激發(fā)，發(fā)生電子在不同能級間的躍遷從而輻射出熒光X射線，但由于不同元素原子的能級差不同，其發(fā)射出的熒光X射線能量（波長）也不同，即每個(gè)元素具有其特征熒光X射線，因此通過探測樣品發(fā)射的熒光X射線的能量（波長）就可以辨別樣品中所含元素，實(shí)現(xiàn)樣品中元素的定性分析。樣品含有元素A與元素B，兩種元素在原級X射線的激發(fā)下輻射出不同能量（波長）的熒光X射線，通過儀器的分光晶體及探測器即可分辨出分別屬于元素A和元素B的熒光X射線及其強(qiáng)度。
XRF定量分析：
元素特征X射線的強(qiáng)度與該元素在試樣中的原子數(shù)量（即含量）成正比，樣品中A元素含量低，則樣品中A元素被激發(fā)產(chǎn)生的熒光X射線強(qiáng)度低，含量高的樣品產(chǎn)生的熒光X射線強(qiáng)度則高。因此，通過測量試樣中某元素特征熒光X射線的強(qiáng)度，采用適當(dāng)?shù)姆椒ㄟM(jìn)行校準(zhǔn)與校正，便可求出該元素在試樣中的百分含量。一般采用標(biāo)準(zhǔn)曲線法測定（經(jīng)驗(yàn)系數(shù)法），通過依次測量標(biāo)準(zhǔn)樣品中某元素的熒光X射線強(qiáng)度，即可建立元素含量-熒光X射線強(qiáng)度的標(biāo)準(zhǔn)曲線，再測試樣品中該元素產(chǎn)生的熒光X射線強(qiáng)度，就可以通過標(biāo)準(zhǔn)曲線上該強(qiáng)度對應(yīng)的元素含量得到測定值。