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            馬爾文帕納科

            BUSINESS

            當(dāng)前位置:> 供求商機(jī)> Wafer XRD

            [供應(yīng)]Wafer XRD

            貨物所在地:上海上海市

            更新時(shí)間:2025-02-19 11:24:41

            有效期:2025年2月19日 -- 2025年5月19日

            已獲點(diǎn)擊:18

            聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來自 化工儀器網(wǎng)

            Wafer XRD
            Panalytical X射線技術(shù)
            用于全自動(dòng)晶圓揀選、生產(chǎn)和質(zhì)量控制。

            Wafer XRD用于全自動(dòng)晶圓揀選、生產(chǎn)和質(zhì)量控制


            特點(diǎn)

            • 適用于3到8寸晶圓。也可根據(jù)要求提供其他尺寸

            • FOUP、載具或單個(gè)晶圓臺(tái)

            • 跨槽晶圓識(shí)別為可選功能

            • 易于集成到任何工藝生產(chǎn)線中

            • 測(cè)量速度:每個(gè)樣品<10秒

            • 典型標(biāo)準(zhǔn)偏差(傾斜度):例如Si 100<0.003°

            • MES和SECS/GEM接口

            • 銅靶微焦點(diǎn)風(fēng)冷X射線光管(**30W)或細(xì)焦點(diǎn)水冷X射線光管(**1.5kW)

            • 符合CE標(biāo)準(zhǔn)的安全控制裝置

            • 通過3色燈塔指示狀



            材料

            Si、SiC、GaAs、GaN、藍(lán)寶石(Al?O?)、Ge、AIN、石英、InP和100s等。


            可選插件

            • 電阻率測(cè)量范圍:0.01至0.020Ωcm

            • 自動(dòng)識(shí)別晶圓數(shù)據(jù)矩陣碼、二維碼、條形碼或類似代碼

            • 未拋光晶圓和鏡面的距離測(cè)量


            Wafer XRD

            年產(chǎn)1,000,000片晶圓





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