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共聚焦三維表面形貌儀參數(shù)說明
共聚焦三維表面形貌儀具有光學(xué)形貌上zui高的橫向分辨率，附有5百萬自動(dòng)分辨率的CCD相機(jī)， 空間下樣可調(diào)至0.05um，是表面特征以及形貌的測(cè)量的*配置。
| 項(xiàng) 目 簡 述 | 參數(shù)說明 |
| 共聚焦三維表面形貌儀 |
可 快速垂直掃描的旋轉(zhuǎn)盤共焦技術(shù)。 使用高數(shù)值孔徑 (0.95) 以及高倍數(shù)的 (150X) 3D全視野3D鏡頭，用以表征坡度分析 (zui大斜率<干涉測(cè)量>: 72o vs 44o) 。 具有光學(xué)形貌上zui高的橫向分辨率，附有5百萬自動(dòng)分辨率的CCD相機(jī)， 空間下樣可調(diào)至0.05um，是表面特征以及形貌的測(cè)量的*配置。 在測(cè)量表面粗糙度/表面反射率上無限制（0.1%- 100%) 應(yīng)用于透明層/薄膜。 兼容亮視野&暗視野; 光學(xué)DIC。 長距離遠(yuǎn)攝鏡頭是用以測(cè)量高縱橫比以及坡度特性的理想之選。 *的穩(wěn)定性。 |