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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
MIRA通用分析型高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡
詳細(xì)介紹
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
TESCAN MIRA是新推出的第四代高性能掃描電子顯微鏡，配置有高亮度肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍，在TESCAN的 Essence™ 操作軟件的同一個(gè)窗口中實(shí)現(xiàn)了SEM成像和實(shí)時(shí)元素分析。這種結(jié)合大大簡(jiǎn)化了從樣品中獲取形貌和元素?cái)?shù)據(jù)的過程，從而使得MIRA成為質(zhì)量控制、失效分析和實(shí)驗(yàn)室常規(guī)材料檢測(cè)的有效分析解決方案。
產(chǎn)品特點(diǎn)
- *集成的 TESCAN Essence™ EDS功能，可以快速、輕松地從成像切換到元素分析操作。
- *的實(shí)時(shí)電子束追蹤技術(shù)(In-flight Beam Tracing™)功能，可設(shè)置優(yōu)化束斑尺寸和束流強(qiáng)度。
- *的大視野光路（Wide Field Optics™）設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)小放大倍率低至2倍，因而無需額外的光學(xué)導(dǎo)航相機(jī)，即可輕松、精確的對(duì)樣品進(jìn)行導(dǎo)航。
- 標(biāo)配的 SingleVac™ 模式，不導(dǎo)電樣品或電子束敏感樣品無需噴鍍即可在此模式下直接進(jìn)行觀察。
- 可選配的鏡筒內(nèi) SE 和 BSE 探測(cè)器，以及電子束減速技術(shù)，更好的提升了低電壓下的成像性能。
- 標(biāo)準(zhǔn)分析平臺(tái)，可選配集成多種類的探測(cè)器和附件。