P+F電容式傳感器產(chǎn)品，典型的P+F電容式傳感器由上下電極、絕緣體和襯底構成。當薄膜受壓力作用時，薄膜會發(fā)生一定的變形，因此，上下電極之間的距離發(fā)生一定的變化，從而使電容發(fā)生變化。但P+F電容式壓力傳感器的電容與上下電極之間的距離的關系是非線性關系，因此，要用具有補償功能的測量電路對輸出電容進行非線性補償。
把被測的機械量，如位移、壓力等轉換為電容量變化的傳感器。它的敏感部分就是具有可變參數(shù)的電容器。其zui常用的形式是由兩個平行電極組成、極間以空氣為介質的電容器。若忽略邊緣效應，平板電容器的電容為εS/d，式中ε為極間介質的介電常數(shù)，S為兩極板互相覆蓋的有效面積，d為兩電極之間的距離。d、s、ε 三個參數(shù)中任一個的變化都將引起電容量變化，并可用于測量。因此倍加福電容式傳感器可分為極距變化型、面積變化型、介質變化型三類。極距變化型一般用來測量微小的線位移或由于力、壓力、振動等引起的極距變化(見電容式壓力傳感器)。面積變化型一般用于測量角位移或較大的線位移。介質變化型常用于物位測量和各種介質的溫度、密度、濕度的測定。
特點優(yōu)勢
P+F電容式傳感器與電阻式、電感式等傳感器相比有如下一些優(yōu)點：
(1)高阻抗、小功率,因而所需的輸入力很小，輸人能量也很低。電容式傳感器因帶電極板 間靜電引力極小(約幾個10-5 N)，因此所需輸入能量極小，所以特別適宜用來解決輸入能量低的 測量問題，例如測量極低的壓力、力和很小的加速度、位移等，可以做得很靈敏,分辨力非常髙，能 感受0.001μm甚至更小的位移。
(2)溫度穩(wěn)定性好。傳感器的電容值一般與電極材料無關，有利于選擇溫度系數(shù)低的材料， 又因本身發(fā)熱極小，對穩(wěn)定性影響甚微。
(3)結構簡單，適應性強，待測體是導體或半導體均可,可在惡劣環(huán)境中工作。倍加福電容式傳感器結構簡單,易于制造,可做得非常小巧，以實現(xiàn)某些特殊的測量;能工作在高低溫、強輻射及強 磁場等惡劣的環(huán)境中，也能對帶有磁性的工件進行測量。
(4)動態(tài)響應好。由于極板間的靜電引力很小，可動部分做得很小很薄，因此其固有頻率很 高，動態(tài)響應時間短，能在幾兆赫的頻率下工作，特別適合動態(tài)測量，如測量振動、瞬時壓力等。
(5)可以實現(xiàn)非接觸測量，具有平均效應。例如非接觸測量回轉軸的振動或偏心、小型滾珠 軸承的徑向間隙等。當采用非接觸測量時,P+F電容式傳感器具有平均效應，可以減小工作表面粗糙 等對測量的影響。
P+F電容式傳感器產(chǎn)品常見的型號：
HI58N-OBAK1R6XN-1024
RVI58N-032K1R31N-00600
RVI58N-032K1R31N-00500
RHI90N-OHAAAR61N-1024
PVS58N-011AGROBN-0013
AVM58N-011K1RHCN-1212
RHI58N-0BAR1R61N-1000
RVI50N-09BK0A3TN-01000
RVI58N-011K1R61N-01024
AVM58N-011AAKHGN-1212
FVM58N-011K2R3GN-1213
RVI58N-032K1R61N-5000
RVI58N-011AAR6XN-5000
RVI58N-032AAR66N-01024
RHI58N-OBAK1R61N-1024
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