狠狠色丁香久久综合婷婷亚洲成人福利在线-欧美日韩在线观看免费-国产99久久久久久免费看-国产欧美在线一区二区三区-欧美精品一区二区三区免费观看-国内精品99亚洲免费高清

            島津企業(yè)管理(中國)有限公司

            集成電路背后的英雄:電子特氣純度分析大挑戰(zhàn)!

            時(shí)間:2024-11-26 閱讀:264
            分享:

            ?

             

            導(dǎo)讀

            在集成電路這一高科技領(lǐng)域的輝煌成就背后,隱藏著無數(shù)不為人知的辛勤努力與技術(shù)創(chuàng)新。其中,電子特氣的純度分析便是一項(xiàng)至關(guān)重要的環(huán)節(jié),它堪稱這一領(lǐng)域的無名英雄。電子特氣作為集成電路制造過程中不可或缺的關(guān)鍵材料,其純度的微小波動(dòng)都可能對(duì)最終產(chǎn)品的性能產(chǎn)生巨大影響。因此,對(duì)電子特氣進(jìn)行精確、高效的純度分析,便成為了一項(xiàng)極具挑戰(zhàn)性的任務(wù),這一挑戰(zhàn)不僅要求分析技術(shù)具備極高的靈敏度和準(zhǔn)確性,還需要能夠應(yīng)對(duì)復(fù)雜多變的實(shí)驗(yàn)環(huán)境和條件。那么,如何通過科學(xué)儀器確保電子特氣的質(zhì)量呢?一起來了解下島津方案吧!

              

             

            什么是電子特氣

            電子特氣是指專用于電子領(lǐng)域的特種氣體。在集成電路領(lǐng)域,電子特氣應(yīng)用于前端晶圓制造的各個(gè)環(huán)節(jié),如清洗、沉積、氧化成膜、光刻、刻蝕、摻雜等。電子特氣種類繁多,僅在晶圓制造的核心工段就涉及40多種。根據(jù)成分與用途,電子特氣可以大致分為光刻用氣、刻蝕用氣、摻雜用氣、外延沉積用氣等,如含氟特氣(三氟化氮、六氟化硫、六氟乙烷等)具有腐蝕性,常用于刻蝕工藝。氫氣、氬氣等惰性氣體則常用做環(huán)境氣和稀釋氣。

            相較于普通工業(yè)氣體,電子特氣對(duì)純度、質(zhì)量穩(wěn)定性與一致性、包裝容器等方面有更高的要求。例如,普通工業(yè)氣體要求在99.99%左右,而在集成電路制造過程中,氣體純度通常要求5N(99.999%)以上。隨著集成電路制造工藝的不斷升級(jí),對(duì)電子特氣純度等性能的要求也在持續(xù)提高。

             

            賦能創(chuàng)“芯” | 島津特色電子特氣

            解決方案

            電子特氣的純度直接影響圓和半導(dǎo)體器件的質(zhì)量、成品率、性能等關(guān)鍵指標(biāo)。隨著電子特氣純度要求的提高,對(duì)于電子特氣的檢測要求也更為嚴(yán)苛。電子特氣中常見的雜質(zhì)主要分為金屬和非金屬兩大類。金屬雜質(zhì)主要是一些痕量金屬粒子,非金屬雜質(zhì)則主要包括H2、O2、N2、CO、CO2等無機(jī)物及HF、烴類化合物等有機(jī)物。針對(duì)電子特氣檢測,島津豐富產(chǎn)品線可提供多元化的檢測方案。

            左右滑動(dòng)看全圖→

            圖片 

            電子特氣在集成電路領(lǐng)域應(yīng)用情況及檢測方案

            圖片 

            津電子特氣分析解決方案

             

            應(yīng)用案例 

            氣相色譜法快速測定電子特氣三氟化氮中的雜質(zhì)

            采用氣相色譜儀,雙通道,兩閥四柱,雙TCD系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)主要雜質(zhì)H2、CF4、CO2、N2O等成分分析,數(shù)據(jù)重現(xiàn)性良好,并表現(xiàn)出優(yōu)良的檢出限。

            圖片 

            系統(tǒng)氣相GC-2030

             

            方案優(yōu)勢

            ? 十通閥直接進(jìn)樣,反吹重組分,12min實(shí)現(xiàn)多種低含量雜質(zhì)同時(shí)快速分析

            ? 雙通道相互獨(dú)立,在線自動(dòng)進(jìn)樣可實(shí)現(xiàn)連續(xù)高通量分析

             

            典型譜圖

            圖片 

            圖1. 標(biāo)氣色譜圖

            (各組分依次為:H2、N2、CF4、NF3、CO2、N2O)

             

            測試結(jié)果

             

            表1. TCD1標(biāo)氣各組分的峰面積重復(fù)性RSD%(n=6)及檢出限

            圖片 

             

            應(yīng)用案例二 

            氣相色譜法測定高純氫氣中的雜質(zhì)

            采用氣相色譜儀結(jié)合高靈敏度、通用型BID檢測器,六通閥進(jìn)樣,分析高純氫氣中微量O2、N2、CH4、CO、CO2,具有靈敏度高、穩(wěn)定性強(qiáng)的特點(diǎn)。

             

            方案優(yōu)勢

            ? 配置簡單,僅使用BID檢測器就可實(shí)現(xiàn)多種微量雜質(zhì)的高靈敏度分析

            ? 使用在線開關(guān)閥,可實(shí)現(xiàn)無人值守,快速分析。

             

            典型譜圖

            圖片 

            圖2. 高純氫氣中各組分的色譜圖

            (各組分依次為:O2、N2、CH4、CO、CO2

             

            測試結(jié)果

             

            表2. 高純氫氣中各組分的峰面積重復(fù)性RSD%(n=3)及檢出限

            圖片 

             

            應(yīng)用案例三 

            電感耦合等離子體質(zhì)譜法測定電子工業(yè)用氬氣中多種金屬含量

            使用溶液吸收法對(duì)樣品進(jìn)行前處理,并利用電感耦合等離子體質(zhì)譜儀ICPMS-2050 LF測定氣體中的40多種金屬元素,方法靈敏度高,準(zhǔn)確度好。

             

            圖片 

            島津電感耦合等離子體質(zhì)譜儀ICPMS-2050 LF

             

            方案優(yōu)勢

             

            ? 使用溶液吸收法對(duì)樣品進(jìn)行前處理,操作簡單

            ? 測試方法檢出限低,線性范圍廣,可滿足電子特氣中多元素雜質(zhì)的同時(shí)檢測要求

             

            測試結(jié)果

            圖片 

            圖3. 部分元素標(biāo)準(zhǔn)曲線

             

            表3. 儀器檢出限和方法檢出限

            圖片 

            (*為使用No Gas模式,其余為He氣碰撞模式)

             

            《島津電子特氣分析解決方案》目錄

            第一章  電子特氣行業(yè)解讀

            ?  電子特氣概述

            ?  電子特氣主要雜質(zhì)分析方法  

            ?  電子特氣檢測參考標(biāo)準(zhǔn)

             

            第二章

            津電子特氣分析解決方案

            ?  高純氫氣分析解決方案

            ?  高純氦氣分析解決方案

            ?  氦氣中微量Ne和Xe分析解決方案

            ?  氖氣中氦氣分析解決方案

            ?  高純氧氣分析解決方案

            ?  高純氧氣分析解決方案

            ?  高純氬氣分析解決方案

            ?  高純氮?dú)夥治鼋鉀Q方案

            ?  高純甲烷分析解決方案

            ?  高純二氧化碳分析解決方案

            ?  高純一氧化碳分析解決方案

            ?  微量氬氣和氧氣分析解決方案

            ?  高純一氟甲烷分析解決方案

            ?  高純乙硼烷分析解決方案

            ?  乙硅烷混合物分析解決方案

            ?  三氟化氮混合物分析解決方案

            ?  高純六氟化鎢分析解決方案

            ?  ICPMS分析氬氣中多種微量元素分析

             

            了解更多應(yīng)用,敬請(qǐng)下載《島津電子特氣分析解決方案》

            圖片 

            結(jié)語

            電子特氣作為集成電路制造過程中至關(guān)重要的原材料,其質(zhì)量保證的重要性不言而喻。島津始終秉持“以科學(xué)技術(shù)為社會(huì)做貢獻(xiàn)”的宗旨,充分利用多種儀器設(shè)備的特點(diǎn),開發(fā)多個(gè)電子特氣檢測方法,為芯片的安全制造提供保障!

            撰稿人:趙晶

             

            本文內(nèi)容非商業(yè)廣告,僅供專業(yè)人士參考。

             

             

             

            會(huì)員登錄

            ×

            請(qǐng)輸入賬號(hào)

            請(qǐng)輸入密碼

            =

            請(qǐng)輸驗(yàn)證碼

            收藏該商鋪

            X
            該信息已收藏!
            標(biāo)簽:
            保存成功

            (空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)

            常用:

            提示

            X
            您的留言已提交成功!我們將在第一時(shí)間回復(fù)您~
            撥打電話 產(chǎn)品分類
            在線留言