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[供應]OLS4100 3D測量激光顯微鏡 返回列表頁
貨物所在地:北京北京市
更新時間:2024-09-09 21:00:07
有效期:2024年9月9日 -- 2025年3月9日
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開拓了激光顯微鏡的界限。
-總是值得信賴的影像和測量-
非接觸式、無損、快速成像和測量
○ 非接觸式、無損測量 激光掃描顯微鏡(LSM)采用低功率激光,不接觸樣品。因此,不像基于探針系統(tǒng)的接觸式表面粗糙度測量儀那樣存在損壞樣品的風險。 | ![]() |
○ 無需前期準備即可成像 掃描電子顯微鏡(SEM)在觀察之前需要進行前期的樣品準備,如真空脫水和/或切片處理,使之適合樣品室。而LSM則無需前期的樣品準備即可對樣品進行測量。而且,將樣品放置在載物臺上之后,即可直接開始成像。 | ![]() |
的XY測量
○ 在XY平面精確測量亞微米級的距離 干涉儀是基于普通白光的光學顯微鏡,它的平面分辨率不高。而LSM通過采用更大數(shù)值孔徑的物鏡和更小波長的光波,極大地提高了平面分辨率。并且通過高精度的激光控制技術,獲得更為精確的樣品表面形貌。根據(jù)拍攝到的圖像,LSM可以進行非常精確的XY平面亞微米測量。LEXT OLS4100達到了0.12μm的平面分辨率。 | ![]() |
的Z軸測量
○ 在Z方向上精確測量亞微米級的高度 | SEM可以拍攝到超高分辨率的影像,但是無法得到高度信息。LSM采用短波長半導體激光和*的雙共焦光學系統(tǒng),會刪除未聚焦區(qū)域的信號,只將聚焦范圍內(nèi)的反射光檢測為同一高度。同時結合高精度的光柵讀取能力,可以生成高畫質(zhì)的影像,實現(xiàn)精確的3D測量。LEXT OLS4100達到了10nm的高度分辨率。 |
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