紫外臭氧清洗機(jī)是一種采用無(wú)接觸方式，在空氣中進(jìn)行且在清洗后不必進(jìn)行干燥。在清洗過(guò)程中主要是依靠等中活性粒子的“活化作用”達(dá)到去除物體表面污漬的目的。就反應(yīng)機(jī)理來(lái)看，清洗通常包括以下過(guò)程:無(wú)機(jī)氣體被激發(fā)為等離子態(tài)，氣相物質(zhì)被吸附在固體表面，被吸附基團(tuán)與固體表面分子反應(yīng)生成產(chǎn)物分子，產(chǎn)物分子解析形成氣相，反應(yīng)殘余物脫離表面。
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