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CIF-Spin Coater

產(chǎn)品特點(diǎn)

u 采用閉環(huán)控制伺服電機(jī)，數(shù)字式增速信號(hào)反饋，速勻準(zhǔn)確，壽命長(zhǎng)，保證勻膠均勻。

u 5寸全彩觸摸屏，智能程序化可編程操控顯示，標(biāo)配10個(gè)勻膠梯度階段（速度和時(shí)間梯度設(shè)置），可選配10個(gè)可編程程序，每個(gè)程序下可設(shè)置10個(gè)勻膠梯度階段，多100個(gè)階段。

u 內(nèi)置水平校準(zhǔn)裝置，大限度的保證旋涂均勻，可對(duì)大小不同規(guī)格的基片進(jìn)行旋涂。

u 多重安全保護(hù)

電磁安全開關(guān)，蓋子打開卡盤停止，保證安全；

蓋子自鎖功能，防止飛片蓋子彈開傷人；

雙重安全上蓋，聚四氟嵌鑲鋼化玻璃，避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人，大限度保證實(shí)驗(yàn)人員安全。

u 一機(jī)兩用，根據(jù)不同樣品可選真空吸盤和非真空卡盤兩種旋涂模式。

u 不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體，PTFE旋涂腔體，聚丙烯（NPP-H）旋涂托盤，PTFE嵌鑲鋼化玻璃上蓋，耐酸堿防腐蝕，保證儀器在苛刻條件下仍能正常運(yùn)行。

u 適用硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs，GaN，InP 等多種材料。

技術(shù)參數(shù)