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產(chǎn)品簡介
全自動雙腔半導體退火爐，RTP-DTS-8是一款全自動雙腔快速退火設(shè)備，可兼容6-8英寸晶圓Wafer。
詳細介紹
快速退火爐是利用鹵素紅外燈作為熱源，通過極快的升溫速率，將材料在極短的時間內(nèi)從室溫加熱到300℃-1250℃，從而消除材料內(nèi)部的一些缺陷，改善產(chǎn)品性能。
全自動雙腔半導體退火爐，RTP-DTS-8是一款全自動雙腔快速退火設(shè)備，可兼容6-8英寸晶圓Wafer。
全自動雙腔半導體退火爐產(chǎn)品優(yōu)勢：
全自動雙腔設(shè)計，有效提升產(chǎn)能；
最高溫度可達1250℃，具有超高溫場均勻性；
具備穩(wěn)定的溫度重現(xiàn)性；
能夠滿足SIC量產(chǎn)化制程需求。
晟鼎是一家集研發(fā)與設(shè)計、生產(chǎn)、銷售及產(chǎn)業(yè)鏈服務為一體的高新技術(shù)企業(yè)。致力于提供表面性能處理及檢測整體解決方案。