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OLS4500納米檢測顯微鏡

OLS4500是一款集成了光學(xué)顯微鏡、激光顯微鏡和掃描探針掃描顯微鏡（SPM）功能于一體的新型納米檢測顯微鏡，可以實現(xiàn)從50倍到高100萬倍的超大范圍的觀察和測量。通過光學(xué)顯微鏡的多種觀察法、激光顯微鏡的高分辨率觀察，可以很容易探索到觀察點。即使在SPM的高倍率觀察中，也可以做到不會迷失觀察點，進(jìn)行正確的觀察和測量。這是具有光學(xué)顯微鏡、激光顯微鏡和SPM各自*功能的復(fù)合型顯微鏡。

特征：

• 一體機的機型縮短從放置樣品到獲取影像的工作時間
• 使用光學(xué)顯微鏡的多種觀察方法，迅速找到觀察對象
• 使用激光顯微鏡，可以觀察到光學(xué)顯微鏡中難以觀察到的樣品影像
• 迅速發(fā)現(xiàn)觀察對象，在SPM上正確完成無縫觀察
• 支持多種分析的SPM測量模式。3種標(biāo)準(zhǔn)模式（接觸模式、動態(tài)模式、相位模式）和3種選擇模式（表面電位模式KFM、電流模式、磁力模式MFM）
• 輕松檢測85°尖銳角
• 高分辨率10nm，輕松測量微小輪廓
• 多可以拼接625幅影像，從而能夠獲得高分辨率的大范圍視圖數(shù)據(jù)；可以在該大范圍視圖上進(jìn)行3D顯示或3D測量
• 可用于傳統(tǒng)的線粗糙度測量，也可用于信息量較多的面粗糙度測量
• 用本公司開發(fā)的微懸臂可以獲得高精細(xì)、高質(zhì)量的SPM圖像

探針顯微鏡的原理和特長

可以觀察納米級微觀世界的探針顯微鏡(SPM:Scanning Probe Microscope)

探針顯微鏡（SPM）是通過機械式地用探針在樣品表面移動，檢測出探針與樣品之間產(chǎn)

生的力、電的相互作用，同時進(jìn)行掃描，從而得到樣品影像。探針好的曲率半徑為10 nm

左右。典型的探針顯微鏡是原子力顯微鏡（AFM），它通過檢測探針和樣品表面之間作用的引力和張力進(jìn)行掃描并獲得影像。探針顯微鏡能夠觀察納米級微觀形貌，可以捕捉到樣品精細(xì)的一面。

通過微懸臂掃描進(jìn)行納米觀察

OLS4500上采用了光杠桿法——通過高靈敏度檢測出前端裝有探針的微懸臂的微小彎曲量（位移）來進(jìn)行觀測的方法。在懸臂的背面反射激光，并用壓電元件驅(qū)動Z軸，使激光照射到光電檢測器的位置，從而正確讀取Z方向的微小位移。

多種觀察模式在影像中呈現(xiàn)表面形狀和物性

探針顯微鏡擁有多種觀察模式，可以觀察、測量樣品表面的形狀，還可以進(jìn)行物性分析。OLS4500配有以下模式。

●接觸模式：在影像中呈現(xiàn)表面形狀（較硬的表面）

控制微懸臂與樣品之間作用的排斥力為恒定的同時， 使微懸臂進(jìn)行靜態(tài)掃描， 在影像中呈現(xiàn)樣品的高度。 還可以進(jìn)行彎曲測量。

●動態(tài)模式：在影像中呈現(xiàn)表面形狀（較軟的表面、有粘性的表面）

使微懸臂在共振頻率附近振動， 并控制Z方向的距離使振幅恒定， 從而在影像中呈現(xiàn)樣品高度。 特別適用于高分子化合物之類表面柔軟的樣品及有粘性的樣品。

●相位模式：在影像中呈現(xiàn)樣品表面的物性差

在動態(tài)模式的掃描中， 檢測出微懸臂振動的相位延遲。 可以在影像中呈現(xiàn)樣品表面的物性差。

●電流模式*：檢測出探針和樣品之間的電流并輸出影像

對樣品施加偏置電壓，檢測出微懸臂與樣品之間的電流并輸出影像。此外，還可以進(jìn)行I/V測量。

●表面電位模式（KFM）*：在影像中呈現(xiàn)樣品表面的電位

使用導(dǎo)電性微懸臂并施加交流電壓， 檢測出微懸臂與樣品表面之間作用的靜電， 從而在影像中呈現(xiàn)樣品表面的電位。 也稱作KFM（Kelvin Force Microscope）。

● 磁力模式（MFM）*：在影像中呈現(xiàn)樣品表面的磁性信息

在相位模式中使用磁化后的微懸臂進(jìn)行掃描， 檢測出振動的微懸臂的相位延遲， 從而在影像中呈現(xiàn)樣品表面的磁力信息。也稱作MFM（Magnetic Force Microscope）。

應(yīng)用實例

DVD表面                                      維氏硬度計壓痕

（掃描區(qū)域 5μm×5μm 3D影像）               （掃描區(qū)域 20μm×20μm 3D影像）

可清楚觀察到DVD刻錄面的凹陷和表面狀態(tài)。      可清楚觀察到從壓痕頂角延伸的裂痕。

TiO2單結(jié)晶電路板                             IC元件圓孔

（掃描區(qū)域 5μm×5μm 3D影像）              （掃描區(qū)域 4μm×4μm 3D影像）

可觀察到約0.3 nm的TiO2（二氧化鈦）          可觀察到元件表面附著的微小異物（白

的原子臺階。                                 色部分）。

高分子薄膜                                    鋁合金陽極氧化膜

（掃描區(qū)域 10μm×10μm 3D影像）            （掃描區(qū)域 1.8μm×1.8μm 表面

可觀察到薄膜表面的劃痕（中間靠左）。          電位模式（KFM模式）左：高度影像

                                             右：電位影像）

觀察到鋁合金陽極氧化膜的表面形

狀（左）的同時，觀察到表面電位（右）。

影像上沒有顯示出來的網(wǎng)眼狀構(gòu)造，可

在電位影像上清楚的看到。

彩色印刷

乳酸菌

墨粉粒子

參數(shù)：