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PICOSUN原子層沉積系統(tǒng)ALD R-200 Pro

（PICOSUN™ ALD R-200 S Pro）

原子層沉積系統(tǒng)（ ALD P-200）

名稱：原子層沉積系統(tǒng)  產(chǎn)地：芬蘭

Picosun簡介

Picosun是yi家公司，Picosun的總部位于芬蘭的Espoo，其生產(chǎn)設施位于芬蘭的Masala（Kirkkonummi）。PICOSUN®ALD設備專為高產(chǎn)量和高產(chǎn)量而設計，并且不斷發(fā)展以提高效率。Picosun適應性強其客戶包括  大的電子制造商，小型的創(chuàng)新型挑戰(zhàn)者以及的大學。 Picosun的組織機構和種類繁多的ALD解決方案都可以滿足每個客戶的需求。PICOSUN®研發(fā)工具具有*的內(nèi)置可擴展性，可確保將研究結果平穩(wěn)過渡到大批量工業(yè)制造中，而不會出現(xiàn)技術差距。Picosun的熱情在于創(chuàng)新。當您想與設備制造商共同創(chuàng)建定制的ALD解決方案，從而引ling行業(yè)發(fā)展時，Picosun是您的合作伙伴。

PICOSUN™ P系列量產(chǎn)ALD系統(tǒng)定義了高產(chǎn)量ALD的新時代。我們?nèi)詣踊?、真空集群與產(chǎn)線兼容的P系列ALD確保了大的產(chǎn)出效率，并且具有的工藝純度和薄膜均勻性，甚至能*具有嚴格要求的半導體行業(yè)標準。PICOSUN™ P系列ALD高效緊湊的設計節(jié)約了昂貴的場地成本，系統(tǒng)的易維護性減少了停工期。對于系統(tǒng)的維護、工藝故障的排除，我們?yōu)榭蛻籼峁I(yè)的售后服務Picosupport™。根據(jù)用戶的需求，確保每時每（24/7/365）快速提供全面的解決方案。在購買之前，我們提供做樣服務，確保系統(tǒng)具有好的性能，*您的需求。

技術指標

應用領域

PICOSUN™ 200mm 生產(chǎn)線上的產(chǎn)品是200mm以下晶圓的自動化、高產(chǎn)量的工業(yè)ALD加工設備。包括PICOSUN™ P系列Pro ALD設備。該工具可以獨立工作，也可以集成到PICOPLATFORM™200真空集群系統(tǒng)以達到更高的產(chǎn)量和自動化水平。為了節(jié)約昂貴的設施空間，所有PICOSUN™的ALD系統(tǒng)有著緊湊，高效的設計。集成的專業(yè)機柜，裝載著前驅(qū)體和電子元件，保證了快速簡便的維護和短的停機時間。PICOSUN™ P系列Pro工具保證了大產(chǎn)能以及節(jié)約成本的情況下得到的ALD工藝質(zhì)量，并履行嚴格的現(xiàn)代半導體產(chǎn)業(yè)的生產(chǎn)力和安全要求。