薄膜反射光譜儀薄膜測厚儀橢偏儀臺階儀

薄膜反射光譜儀薄膜測厚儀橢偏儀臺階儀

薄膜的光學(xué)特性主要有反射和干涉.NanoCalc薄膜反射測量系統(tǒng)可以用來進(jìn)行10nm~250µm的膜厚分析測量，對單層膜的分辨率為0.1nm。根據(jù)測量軟件的不同，可以分析單層或多層膜厚。

產(chǎn)品特點(diǎn)

• 可分析單層或多層薄膜

• 分辨率達(dá)0.1nm

• 適合于在線監(jiān)測

• 操作理論

zui常用的兩種測量薄膜的特性的方法為光學(xué)反射和投射測量、橢圓光度法測量。NanoCalc利用反射原理進(jìn)行膜厚測量。

查找n和k值

可以進(jìn)行多達(dá)三層的薄膜測量，薄膜和基體測量可以是金屬、電介質(zhì)、無定形材料或硅晶等。NanoCalc軟件包含了大多數(shù)材料的n和k值數(shù)據(jù)庫，用戶也可以自己添加和編輯。

應(yīng)用

NanoCalc薄膜反射材料系統(tǒng)適合于在線膜厚和去除率測量，包括氧化層、中氮化硅薄膜、感光膠片及其它類型的薄膜。NanoCalc也可測量在鋼、鋁、銅、陶瓷、塑料等物質(zhì)上的抗反射涂層、抗磨涂層等。

薄膜反射光譜儀薄膜測厚儀橢偏儀臺階儀

根據(jù)實(shí)驗(yàn)情況選擇不同光譜

NanoCalc規(guī)格