振動對高級浸沒式光刻的影響
沒有使用STACIS®
在原基座的彈性體或剛性版本上獲得jia模式
使用STACIS®
STACIS主動隔振實現(xiàn)的模式
所示的45納米線寬測試圖形是由Amphibian Systems公司生產(chǎn)的*浸入式光刻系統(tǒng)生產(chǎn)的，安裝在德克薩斯州*的SEMATECH公司。圖像之間的差異是由于地震振動對光刻過程的影響。所顯示的圖像是使用掃描電子顯微鏡獲得的。
該工具初安裝在鋼和混凝土基座上，基座采用鋼支撐結(jié)構(gòu)，其中包含商業(yè)彈性體隔振墊。這個基座沒有達到工具要求的振動標準，模式質(zhì)量很差。
為了減少振動，彈性體墊塊被有效地用金屬墊片短路，從而導致更剛性、非共振結(jié)構(gòu)，但這幾乎沒有改善。振動標準不符合任何版本的基座和模式，質(zhì)量仍然很差。
基座支撐結(jié)構(gòu)被移除，并安裝了STACIS®主動壓電消振系統(tǒng)。STACIS基座被直接放置在現(xiàn)有的底座下面。將工具支撐在STACIS上，顯著降低了整體地震振動水平，并達到了制造商的地面振動規(guī)范。更重要的是，STACIS在模式質(zhì)量方面提供了顯著的改進。
不同配置的振動測量。工具規(guī)格:0.125 mils /s RMS。垂直軸數(shù)據(jù)顯示。
綠色：彈性體減振
白色：短路彈性體減振
藍色：STACIS減振
*由Sematech提供的照片、圖像和振動數(shù)據(jù)。
☆關(guān)于TMC☆
TMC為納米技術(shù)設(shè)計和制造*的建筑地面隔振系統(tǒng)。TMC隔離器支持超精密測量、儀器和制造。我們繼續(xù)領(lǐng)xian于行業(yè)*的主動、慣性振動消除系統(tǒng)，具有壓電驅(qū)動器和數(shù)字控制器。我們的無源產(chǎn)品范圍從簡單的、桌面隔離顯微鏡底座，到幾乎任何尺寸的光學表系統(tǒng)。
TMC產(chǎn)品讓光子學、半導體制造、生命科學、藥物發(fā)現(xiàn)和納米技術(shù)等領(lǐng)域的超精密研究、測量和制造成為可能。我們的產(chǎn)品是在*的、垂直一體化的制造設(shè)施中設(shè)計和制造的，并以提供優(yōu)質(zhì)服務(wù)的客戶承諾為后盾。
TMC是阿美特克超精密測量部門成員，阿美特克是電子儀器和機電設(shè)備的突出者，年銷售額約為50億美金。為材料分析、超精密測量、過程分析、測試測量與通訊、電力系統(tǒng)與儀器、儀表與使用控制、精密運動控制、電子元器件與封裝、特種金屬產(chǎn)品等領(lǐng)域提供技術(shù)解決方案。
森泉光電為TMC中國區(qū)總代理。
森泉為您的科研事業(yè)添磚加瓦：
1） 激光控制：激光電流源、激光器溫控器、激光器控制、伺服設(shè)備與系統(tǒng)等等
2） 探測器：光電探測器、單光子計數(shù)器、單光子探測器、CCD、光譜分析系統(tǒng)等等
3） 定位與加工：納米定位系統(tǒng)、微納運動系統(tǒng)、多維位移臺、旋轉(zhuǎn)臺、微型操作器等等
4） 光源：半導體激光器、固體激光器、單頻激光器、單縱模激光器、窄線寬激光器、光通訊波段激光器、CO2激光器、中紅外激光器、染料激光器、飛秒超快激光器等等
5） 光機械件：用于光路系統(tǒng)搭建的高品質(zhì)無應(yīng)力光機械件，如光學調(diào)整架、鏡架、支撐桿、固定底座等等
6） 光學平臺：主動隔振平臺、氣浮隔振臺、實驗桌、剛性工作臺、面包板、隔振、隔磁、隔聲綜合解決方案等等
7） 光學元件：各類晶體、光纖、偏轉(zhuǎn)鏡、反射鏡、透射鏡、半透半反鏡、濾光片、衰減片、玻片等等
8） 染料：激光染料、熒光染料、光致變色染料、光致發(fā)光染料、吸收染料等等
7
立即詢價
您提交后，專屬客服將第一時間為您服務(wù)