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WDK2010-DIC多功能微分干涉顯微鏡
主要技術(shù)參數(shù)：
1.鏡筒：鉸鏈式三目頭部 30°傾斜 270°旋轉(zhuǎn)
2. 高眼點平場目鏡: WF10X/22
3. 長工作距離工業(yè)顯微物鏡
f=200mm用全平場復(fù)消色差物鏡/M Plan APO | ||||||
物鏡數(shù)據(jù) |
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倍率 | 2X | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X(選購) |
NA | 0.055 | 0.14 | 0.28 | 0.42 | 0.55 | 0.55 |
W.D(mm) | 34 | 34 | 33.5 | 20 | 13 | 13 |
焦點距離(mm) | 100 | 40 | 20 | 10 | 4 | 2 |
分解率(µm) | 5 | 2 | 1 | 0.7 | 0.5 | 0.5 |
焦深(µm) | 91 | 14 | 3.58 | 1.6 | 0.9 | 0.9 |
WDK2010-DIC多功能微分干涉顯微鏡
4. 水平轉(zhuǎn)換器：五孔轉(zhuǎn)換器，可對每個轉(zhuǎn)換口進行調(diào)焦和調(diào)中,以消除物鏡和轉(zhuǎn)換器的制造誤差,保證測量精度。（本項已申請）
5. 落射式照明系統(tǒng)： 高亮度LED燈（5W）
6. 調(diào)焦結(jié)構(gòu)：粗微動同軸調(diào)焦, 帶鎖緊和限位裝置， 粗動升降范圍30mm，微動格值，0.001mm*100格，數(shù)顯解析值 0.0005mm。
8. Z軸升降范圍：38mm以內(nèi)，手輪轉(zhuǎn)動130mm 允許較高工件 130mm，導(dǎo)軌精度3+L/1000
X軸移動范圍：200mm 解析率：0.001mm 可解鎖手動快進，
Y 軸移動范圍：100mm 解析率：0.001mm 可解鎖手動快進，
測量精度(3+L/100)um (L: 被測長度,um)
落射光測量誤差≤0.08%
9. 工作臺尺寸: 360mm*250mm 玻璃板尺寸: 225mm *175mm 工作臺承重: 30kg
10.儀器外型尺寸：380mm*550mm*830mm
11. 凈重：100kg 毛重：120kg
用途:
DIC95/45分屬于無窮遠和有限遠兩個光學(xué)系統(tǒng)，除選配的國產(chǎn)物鏡外，其他的功能質(zhì)量都是上乘之作，光源可選LED和光纖冷光源，主要是為了適合不同預(yù)算的客戶挑選，全部零件和優(yōu)秀的光學(xué)系統(tǒng)均有進口零部件組裝由國外技術(shù)工程師把關(guān)調(diào)試和技術(shù)控制，整套DIC系統(tǒng)，物鏡上方的DIC棱鏡可作水平和上下微調(diào)，兩個方向的線偏振光分合所形成的浮雕圖像，具有強烈的立體感，極適合于芯片封裝后的品檢很微小的突起，細微劃痕的觀察，測量，這在通常光學(xué)系統(tǒng)是無法觀察的。
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