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上海屹持光電技術(shù)有限公司專(zhuān)業(yè)提供各種微納結(jié)構(gòu)加工服務(wù)

典型案例：

                                                                         FIB加工微納結(jié)構(gòu)                                                           紫外光刻微納結(jié)構(gòu)

單晶硅反應(yīng)離子刻蝕圖片   

ICP 刻蝕微納結(jié)構(gòu)

納米壓印點(diǎn)線(xiàn)圖

微流控細(xì)胞打印

EBL  刻寫(xiě)微納陣列

 FIB 用于器件電極沉積

 激光直寫(xiě)圖案

激光直寫(xiě)器件

微納結(jié)構(gòu)加工主要設(shè)備

1，電子束曝光系統(tǒng)；

2，聚焦離子束/ 掃描電子顯微鏡雙束系統(tǒng)；

3，雙面對(duì)準(zhǔn)接觸式紫外光刻機(jī)；

4， 單面對(duì)準(zhǔn)紫外光刻機(jī)；

5，金屬高密度等離子體刻蝕機(jī)；

6，硅刻蝕高密度等離子體刻蝕機(jī)；

7，反應(yīng)等離子體刻蝕機(jī)；

8，納米壓印機(jī)。

上海屹持光電技術(shù)有限公司
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