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典型實(shí)例

1，磁控濺射合金膜

2，ICPPECVD 制備超厚低應(yīng)力氧化硅薄膜

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3，沉積細(xì)胞定位電極

4，磁控濺射的 制備的 Au/TiO2  連續(xù)

主要設(shè)備：

1，磁控濺射鍍膜系統(tǒng)

2，磁控濺射鍍膜機(jī)

3，磁控濺射真空鍍膜機(jī)

4，電子束蒸發(fā)鍍膜儀

5，高密度等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備

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