可編程精密勻膠機(jī)

型號(hào)：HC160PE

    HC160PE程控精密勻膠機(jī)，采用高級(jí)PLC 全自動(dòng)程序控制，轉(zhuǎn)速精度高，穩(wěn)定性好。可用于微電子、半導(dǎo)體、新能源、生物材料、納米材料等領(lǐng)域高精度薄膜涂層的制備。

特點(diǎn)：

l  設(shè)計(jì)緊湊，可放置在手套箱內(nèi)；

l  4.3英寸彩色觸屏控制，人機(jī)界面；

l  不銹鋼外殼，美觀耐腐蝕；

l  經(jīng)CNC一體加工成型的HDPE內(nèi)腔，耐腐蝕，易清潔，帶排廢功能；

l  內(nèi)腔壁采用*的凹面設(shè)計(jì)，有效防濺；

l  高級(jí)PLC全自動(dòng)程序控制，可編程；

l  帶真空度安全互鎖檢測(cè)功能；

l  帶蓋子安全互鎖檢測(cè)功能；

l  帶排廢接口；

l  配置一個(gè)自動(dòng)點(diǎn)膠接口，可升級(jí)自動(dòng)點(diǎn)膠系統(tǒng)；

l  可設(shè)置用戶密碼保護(hù)功能；

l  配置可調(diào)基座，方便調(diào)節(jié)水平；

技術(shù)參數(shù)：

l  適用晶元尺寸范圍：?10~160mm；

l  旋涂速度：100~12000rpm；

l  轉(zhuǎn)速分辨率：1rpm；

l  旋涂加速度：100-30000rpm/s；

l  旋涂時(shí)間：3000s；

l  旋涂時(shí)間精度：0.1s；

l  內(nèi)腔直徑220mm，內(nèi)腔壁采用*的凹面防濺設(shè)計(jì)；

l  具備單步快速旋涂和多步編程旋涂，可編程100組程序，每組程序10步；

l  電源輸入：AC200-230V；

設(shè)備外形尺寸：長(zhǎng)X寬X高：310X254X250mm

HC160PE程控精密勻膠機(jī)

HC160PE程控精密勻膠機(jī)