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高精度蠕動(dòng)泵與半導(dǎo)體行業(yè)的關(guān)系
閱讀：419 發(fā)布時(shí)間：2019-4-22
高精度蠕動(dòng)泵與半導(dǎo)體行業(yè)的關(guān)系
許多實(shí)驗(yàn)室及輕工制造商對(duì)高精度蠕動(dòng)泵的要求非常嚴(yán)格，要確保實(shí)驗(yàn)結(jié)果的準(zhǔn)確性、數(shù)據(jù)的可靠性，保證生產(chǎn)流程的連續(xù)性和穩(wěn)定性。因此在物料的傳輸，各種試劑的計(jì)量和添加應(yīng)用中，要求高精度蠕動(dòng)泵傳輸精度高，穩(wěn)定性好，操作簡便及維護(hù)簡單。
高精度蠕動(dòng)泵是一種能選擇流量、地得到您所需的液量、能設(shè)定工作時(shí)間、可以連續(xù)循環(huán)地間隙運(yùn)轉(zhuǎn)、自動(dòng)計(jì)算流量和輸送量等。當(dāng)輸液量達(dá)到預(yù)置量后會(huì)自動(dòng)發(fā)出聲音報(bào)警，還具有斷電數(shù)據(jù)保護(hù)功能，在工作停止關(guān)機(jī)后，再一次打開還能繼續(xù)上一次使用設(shè)定的各項(xiàng)數(shù)據(jù)。
半導(dǎo)體制造要求始終控制工藝工具中的液體流動(dòng)，苛刻的應(yīng)用之一是化學(xué)機(jī)械平坦化（CMP）。當(dāng)CMP工具不能將一致的漿料速率分配到拋光基材上時(shí)，它會(huì)對(duì)產(chǎn)量，化學(xué)品使用和材料完整性產(chǎn)生極大的負(fù)面影響。晶圓厚度的變化，缺陷密度的增加，工具停機(jī)時(shí)間和晶圓廢料的增加只是流程控制不良可能導(dǎo)致的一些問題。
高精度蠕動(dòng)泵非常適合半導(dǎo)體行業(yè)的高純度和腐蝕性化學(xué)環(huán)境，對(duì)于CMP，提供了在拋光過程中的使用點(diǎn)漿料流分配到晶片所需的線性和可重復(fù)性，低剪切力對(duì)CMP漿料溫和，其變速操作允許在很寬的操作范圍內(nèi)控制流量，以保持過程的完整性。
漿料的性能可實(shí)現(xiàn)的晶圓平面度，高精度蠕動(dòng)泵通過控制漿料輸送和分配，有助于實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo)。高精度蠕動(dòng)泵的非侵入式設(shè)計(jì)提供了直的流動(dòng)路徑，沒有死流區(qū)域，使?jié){料凝聚，硬化并污染過程。流速達(dá)到±0.5％。提供的穩(wěn)定的流體輸送不僅可確保漿料不斷流向拋光墊，還可減少漿料，化學(xué)品和去離子水的浪費(fèi)。
許多實(shí)驗(yàn)室及輕工制造商對(duì)高精度蠕動(dòng)泵的要求非常嚴(yán)格，要確保實(shí)驗(yàn)結(jié)果的準(zhǔn)確性、數(shù)據(jù)的可靠性，保證生產(chǎn)流程的連續(xù)性和穩(wěn)定性。因此在物料的傳輸，各種試劑的計(jì)量和添加應(yīng)用中，要求高精度蠕動(dòng)泵傳輸精度高，穩(wěn)定性好，操作簡便及維護(hù)簡單。
高精度蠕動(dòng)泵是一種能選擇流量、地得到您所需的液量、能設(shè)定工作時(shí)間、可以連續(xù)循環(huán)地間隙運(yùn)轉(zhuǎn)、自動(dòng)計(jì)算流量和輸送量等。當(dāng)輸液量達(dá)到預(yù)置量后會(huì)自動(dòng)發(fā)出聲音報(bào)警，還具有斷電數(shù)據(jù)保護(hù)功能，在工作停止關(guān)機(jī)后，再一次打開還能繼續(xù)上一次使用設(shè)定的各項(xiàng)數(shù)據(jù)。
半導(dǎo)體制造要求始終控制工藝工具中的液體流動(dòng)，苛刻的應(yīng)用之一是化學(xué)機(jī)械平坦化（CMP）。當(dāng)CMP工具不能將一致的漿料速率分配到拋光基材上時(shí)，它會(huì)對(duì)產(chǎn)量，化學(xué)品使用和材料完整性產(chǎn)生極大的負(fù)面影響。晶圓厚度的變化，缺陷密度的增加，工具停機(jī)時(shí)間和晶圓廢料的增加只是流程控制不良可能導(dǎo)致的一些問題。
高精度蠕動(dòng)泵非常適合半導(dǎo)體行業(yè)的高純度和腐蝕性化學(xué)環(huán)境，對(duì)于CMP，提供了在拋光過程中的使用點(diǎn)漿料流分配到晶片所需的線性和可重復(fù)性，低剪切力對(duì)CMP漿料溫和，其變速操作允許在很寬的操作范圍內(nèi)控制流量，以保持過程的完整性。
漿料的性能可實(shí)現(xiàn)的晶圓平面度，高精度蠕動(dòng)泵通過控制漿料輸送和分配，有助于實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo)。高精度蠕動(dòng)泵的非侵入式設(shè)計(jì)提供了直的流動(dòng)路徑，沒有死流區(qū)域，使?jié){料凝聚，硬化并污染過程。流速達(dá)到±0.5％。提供的穩(wěn)定的流體輸送不僅可確保漿料不斷流向拋光墊，還可減少漿料，化學(xué)品和去離子水的浪費(fèi)。