韓國LS|MERIT200半導體清洗設備專用流量計
韓國LS|MERIT200半導體清洗設備專用流量計
代替日本東富科 TOFCO TKK
◎ 高純度藥液與超純粹等液體的高速精密流量測量
◎ 高品質高精密的半導體與產業(yè)用非接觸式超聲波測量儀使用
◎ 以RS-485通信(Modbus)監(jiān)視多數流量
◎ 以電源分離屏蔽外部干擾及所有輸入輸出RFI/EMI (CE認證)
◎ 可以測量多種液體的流量(DI, 窒酸, 硫酸, 過酸化水素, 氫氟酸, 氨水等)
◎ 7 Segment 4Digit Display
◎ 外部輸出功能 – Analog Out : 4 ~ 20mA(16bit) / Sol Valve控制
◎ AMP(6渠道) 一體化，空間最小化
◎ 以酸反洗井工程Particle最小化(選項)
韓國LS|MERIT200半導體清洗設備專用流量計
◎ 瞬時及積算Flow Meter(ml/min)
◎ 通過超聲波波形分析功能提供精密測量
◎ 對因藥液及溫度變化而產生的誤差自動補正
◎ 以Serial Comm. 提供各樣的應用技術及維護軟件道具
韓國LS|MERIT200半導體清洗設備專用流量計
? Merit 200 Series LFC 特征
◎ 控制閥門內置的高品質高精密半導體及產業(yè)用非接觸式LFC
◎ 可以測量多種液體的流量(DI, 窒酸, 硫酸, 過酸化水素, 氫氟酸, 氨水, SC1, IPA)
◎ 以電源分離屏蔽外部干擾及所有輸入輸出RFI/EMI (CE認證)
◎ 維修簡便(控制電源與檢測器一體型接液部)
◎ 外部輸出功能(Sol Valve On/Off與循環(huán)Valve控制)
◎ AMP(6渠道) 一體化，空間最小化
◎ 以搞清潔閥門使用Particle最少話(選項)
韓國LS|MERIT200半導體清洗設備專用流量計
? Merit 200 Series LFC 功能
◎ 目標量瞬時控制及流量脈動過濾
◎ 通過超聲波波形分析功能提供精密測量
◎ 對因藥液及溫度變化而產生的誤差自動補正
◎ 以Serial Comm. 提供各樣的應用技術及維護軟件道具
◎ 通過RS-485通信方式多數流量監(jiān)測
◎ 告訴控制響應 (目標流量率98%, 2秒以內)
產品規(guī)格
控制器（AMP）規(guī)格
區(qū)分 | 樣式 |
電源 | DC+24V（±10%） |
溫度 | 0~50℃ |
消耗電流 | 約25.2W（六頻道） |
防水結構 | IP20 |
通信規(guī)格 | RS-485（MODBUS） |
產品尺寸 | 50mm × 126mm × 79.5mm |
重量 | 293g（六頻道） |
CE認證 | EN61326,55011 |
韓國LS|MERIT200半導體清洗設備專用流量計
區(qū)分 | 樣式 |
測量對象 | 全部液體 |
流體溫度 | 10~90℃ |
流體壓力 | 0~0.35Mpa（極限值0.5Mpa） |
聲波范圍 | 1000~2200m/Sec |
防水結構 | IP65 |
材質 | PFA |
標準管徑 | 1/4inch，3/8inch，1/2inch，3/4inch |
線纜長度 | （樣式）：2M，3M，5M |
流量范圍和精度
區(qū)分 | A20（1/4"） | A50（3/8"） | A200（1/2"） | A500（3/4"） | 備注 |
藥液 | Chemical, slurry, DIW | ||||
流量范圍 | 0.02~2.5 | 0.1~5.0 | 0.5~20 | 1~50 | L/min |
最小Unit | 1 mL/min | 10mL/min | |||
管徑 | 6.35(3.96) | 9.52(6.35) | 12.7(9.53) | 19(15.87) | 外徑（內徑）mm |
精度 | 0.05~0.3(±3) | 0.1~0.6(±6) | 0.5~2.0(±20) | 1.0~5.0(±50) | L/min（mL/min） |
0.3~2.5 (±1%) | 0.6~5.0(±1%) | 2.0~20(±1%) | 5.0~50(±1%) | of RD |
競品比較(Standard : inch type)
類別 | 韓國ls M100-xxxx | 日本TOFCO USFXXX | SFC-XXX 日本TKK | 備注 |
英寸 | 1/4, 3/8, 1/2, 3/4inch | 1/4, 3/8, 1/2, 3/4inch | 1/4, 3/8, 1/2, 3/4inch | |
尺寸 | 119.6 x 20.8 x 152.6 mm | 138 x 40 x 105 mm | 134 x 20 x 100 mm | 設置尺寸較小， 安裝尺寸最小化 |
材料/防水 | PFA / IP65 (Detector) | PFA | PFA | |
電源 | 24VDC ±10% | 24VDC ±10% | 24VDC ±10% | |
精度 | 20mL~300mL : ±3mL 300mL~2500mL : ±1% | 50mL~300mL : ±3mL 300mL~3000mL : ±1% | 50mL~800mL : ±8mL 800mL~2000mL: ±1% | 小流量更為精準 |
流體溫度 | 10 ~ 90℃ （Option ~150℃） | 10 ~ 90℃ (Option ~180℃) | 10~ 180℃ | 可以在高溫使用 |
響應時間 | 1.5 sec | - | - | 反應速度快 |
可測范圍(DIW) | 20 ~ 2500mL/min | 50 ~ 3000mL/min | 50~ 2500mL/min | ***流量值最小 |
模擬輸出 | 4-20 mA | 4-20 mA | 4-20 mA | |
操作模式 | Analog output mode RS-485 Isolated | Analog output mode RS-485 Non-isolated | Analog output mode RS-485 Non-isolated | 絕緣類型適用 (5 kV rms isolated) |
頻道數 | 2/6Channel | 2Channel | 1Channel |
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