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自動(dòng)化工業(yè)級(jí)原子力顯微鏡，帶來(lái)線上晶片檢查和測(cè)量

Park Systems推出業(yè)內(nèi)噪聲*低的全自動(dòng)化工業(yè)級(jí)原子力顯微鏡——XE-Wafer。該自動(dòng)化原子力顯微鏡系統(tǒng)旨在為全天候生產(chǎn)線上的亞米級(jí)晶體（尺寸200 mm和300 mm）提供線上高分辨率表面粗糙度、溝槽寬度、深度和角度測(cè)量。借助True Non-Contact™模式，即便是在結(jié)構(gòu)柔軟的樣品，例如光刻膠溝槽表面，XE-Wafer可以實(shí)現(xiàn)無(wú)損測(cè)量。

現(xiàn)有問(wèn)題

目前，硬盤和半導(dǎo)體業(yè)的工藝工程師使用成本高昂的聚焦離子束(FIB)/掃瞄式電子顯微鏡(SEM)獲取納米級(jí)的表面粗糙度、側(cè)壁角度和高度。不幸的是，F(xiàn)IB/SEM會(huì)破壞樣品，且速度慢，成本高昂。

解決方案

NX-Wafer原子力顯微鏡實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化的在線200 mm & 300 mm晶體表面粗糙度、深度和角度測(cè)量，且速度快、精度高、成本低。

益處

NX-Wafer讓無(wú)損線上成像成為可能，并實(shí)現(xiàn)多位置的直接可重復(fù)高分辨率測(cè)量。更高的精確度和線寬粗糙度監(jiān)控能力讓工藝工程師得以制造性能更高的儀器，且成本顯著低于FIB/SEM。

應(yīng)用

串?dāng)_消除實(shí)現(xiàn)無(wú)偽影測(cè)量

*的解耦XY軸掃描系統(tǒng)提供平滑的掃描平臺(tái)

平滑的線性XY軸掃描將偽影從背景曲率中消除

精確的特征特亮和豐富的儀表統(tǒng)計(jì)功能

的工具匹配

CD(臨界尺寸)測(cè)量

出眾的精確且精密納米測(cè)量在提高效率的同時(shí)，也為重復(fù)性與再現(xiàn)性研究帶來(lái)*高的分辨率和*低的儀表西格瑪值。

精密的納米測(cè)量

媒介和基體亞納米粗糙度測(cè)量

憑借行業(yè)*低的噪聲和創(chuàng)新的True Non-ContactTM模式，XE-Wafer在*平滑的媒介和基體樣品上實(shí)現(xiàn)*精確的粗糙度測(cè)量。

精確的角度測(cè)量

Z軸掃描正交性的高精度校正讓角度測(cè)量時(shí)精確度小于0.1度。