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OAI 659光刻紫外線(xiàn)照度計(jì)適用于半導(dǎo)體、面板制程的曝光機(jī)紫外線(xiàn)能量分析和測(cè)量。
過(guò)去45年來(lái)，OAI是一個(gè)UV 光及能量量測(cè)儀器的世界領(lǐng)導(dǎo)制造商，提供紫外線(xiàn)的檢驗(yàn)，光學(xué)技術(shù)，光電，微機(jī)電等測(cè)試設(shè)備。OAI在全球使用中的精密儀器有數(shù)千臺(tái)之多，從紫外線(xiàn)強(qiáng)度、動(dòng)力儀表到輻射計(jì)和太陽(yáng)能光強(qiáng)度儀表，提供長(zhǎng)期性能最高具可靠性和價(jià)值的廣泛儀表和儀器設(shè)備與校正服務(wù)。

OAI 659光刻紫外線(xiàn)照度計(jì)專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)用于所有步進(jìn)式光刻機(jī)，包括高強(qiáng)度步進(jìn)式光刻機(jī)。該儀表平均可達(dá)到400個(gè)曝光讀數(shù)，具有以太網(wǎng)和USB接口，用于下載記錄測(cè)量的數(shù)據(jù)，并且強(qiáng)度范圍可高達(dá)7500MW/cm2。探頭的波長(zhǎng)為365nm、400nm、420nm和436nm。

OAI 659光刻紫外線(xiàn)照度計(jì)

（一）儀表規(guī)格

用戶(hù)界面：觸摸屏

計(jì)算機(jī)接口：可選以太網(wǎng)和USB下載記錄測(cè)量的數(shù)據(jù)

電源：電池采用可充電的3.7V鋰離子電池并有充電保護(hù)

充電器電源：100-240 VAC

顯示設(shè)置：2個(gè)屏幕

1設(shè)置屏幕-以太網(wǎng)地址、日期和時(shí)間

2運(yùn)行屏幕–波長(zhǎng)、強(qiáng)度、時(shí)間、劑量、探頭溫度，探頭類(lèi)型，偏差百分比，串行編號(hào)、校準(zhǔn)到期日、電池狀態(tài)、探針序列號(hào)和充電器狀態(tài)。

內(nèi)存存儲(chǔ)：多400個(gè)讀數(shù)

強(qiáng)度范圍：高達(dá)7500MW/cm2

強(qiáng)度分辨率：0.01mW/cm2

劑量范圍：高達(dá)1000 J/cm3

劑量分辨率：0.01mJ/cm3

時(shí)間范圍：長(zhǎng)9999秒

時(shí)間分辨率：0.0001秒

小劑量暴露25m秒

尺寸：14英寸X 8.25英寸X 3.5英寸

重量：3.5磅

工作環(huán)境溫度：15–40度

符合性：ROHS2和CE（EMC和安全）

(二)探頭規(guī)格

選項(xiàng)：非補(bǔ)償溫度探頭

探頭檢測(cè)器：硅光電二極管

可用波長(zhǎng)（nm）365、400、420、436

過(guò)濾器：多層吸收/介質(zhì)

強(qiáng)度范圍：7500MW/cm2

合規(guī)性：ROHS2和CE（EMC和安全）