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            技術(shù)文章

            美國ALICAT MCR 大流量質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)

            閱讀:764          發(fā)布時間:2022-9-23

            美國ALICAT  MCR 大流量質(zhì)量流量控制器參數(shù):

            0 – 0.5 sccm 滿量程到 0 – 3000 slpm 滿量程


            產(chǎn)品性能: MC & MCR 系列質(zhì)量流量控制器 

            精度(調(diào)零后標(biāo)準(zhǔn)條件下): ± (0.8%Rdg + 0.2%F.S) 

            高精度選配(調(diào)零后標(biāo)準(zhǔn)條件下): ±(0.4%Rdg + 0.2%F.S) 

            高精度(選配)僅適用于量程為: 5SCCM ~ 500SLPM 的設(shè)備

            重復(fù)性: ±0.2% F.S 

            零點漂移&滿量程漂移: 0.02% F.S / oC / Atm 

            工作范圍 / 量程可調(diào)比: 0.5% ~ 100 F.S / 200:1 

            很大可控流量: 102.4% F.S 

            典型響應(yīng)時間: 100 毫秒(可調(diào)整) 

            啟動預(yù)熱時間: < 1 秒

            運行工況: MC & MCR 系列質(zhì)量流量控制器 

            標(biāo)準(zhǔn)工況 :(STP) 25oC & 14.696 psia、20oC & 14.696 psia、0oC & 14.696 psia (三種工況供切換) 

            工作溫度: ?10 ~ +50 oC 

            工作濕度范圍 (非冷凝) :0 ~ 100 

            內(nèi)部很大工作壓力(靜壓): 145 psig 

            很限壓力: 175 psig 

            對安裝方式/方向的要求: MC: 無 MCR: 閥門須垂直安裝 

            閥門狀態(tài): 閥門常閉 

            防護等級: IP40 

            材質(zhì) :MC: 303 & 302不銹鋼, Viton®, 硅膠RTV (橡膠), 玻璃增強尼龍, 鋁 , 黃銅, 430FR 不銹鋼, 硅, 玻璃 MCR: 303 & 302不銹鋼, Viton®, 硅膠RTV (橡膠), 玻璃增強       尼龍, 鋁, 416不銹鋼, 鎳, 硅, 玻璃


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