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詳細(xì)介紹
CVI-1700系統(tǒng)由SGL-1700L真空管式爐，HQZ-Ⅳ混氣系統(tǒng)，真空壓強(qiáng)控制系統(tǒng)，尾氣冷凝收集處理系統(tǒng)等組成。真空泵采進(jìn)口抗腐蝕隔膜真空泵，真空度可達(dá)到7.5x10-1Torr；CVI-1700系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)多路混合氣體化學(xué)氣相沉積和擴(kuò)散試驗(yàn)。 | |
CVI-1700系統(tǒng)主要技術(shù)參數(shù)： | |
SGL-1700L 真空管式爐 | 雙層爐殼間配有風(fēng)冷系統(tǒng)，有效保證外殼表面溫 日本技術(shù)真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，保溫性能好 加熱元件采用優(yōu)質(zhì)U型硅鉬棒，表面負(fù)荷高，大大提高了其使用壽命 |
機(jī)器電源 | AC220V，50/60Hz；額定功率6KW |
爐管 | 采用99氧化鋁剛玉管，致密度高，經(jīng)久耐用，不易斷裂 尺寸：Φ80*/1000mm 剛玉支撐架，有效保證料件處于溫區(qū)中心 |
法蘭及支撐 | SUS304不銹鋼快速水冷法蘭，長(zhǎng)期水冷無(wú)腐蝕 一個(gè)卡箍就能完成法蘭的連接，放、取物料方便快捷 可調(diào)節(jié)的法蘭支撐，平衡爐管的受力支撐 包含進(jìn)氣、出氣、真空抽口針閥，KF密封圈及卡箍組合，4個(gè)密封硅膠圈等 |
加熱系統(tǒng) | 加熱元件：4根U型硅鉬棒 加熱區(qū)長(zhǎng)度：280mm 恒溫區(qū)長(zhǎng)度：100mm 工作溫度：≤1600℃ 升溫速率：≤10℃/min |
溫控系統(tǒng) | 溫度控制采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù)，具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能 50段升降溫程序 測(cè)溫元件：B型雙鉑銠熱電偶 恒溫精度：±1℃ 超溫、斷偶故障警報(bào)及斷電保護(hù) |
HQZ-Ⅳ 混氣系統(tǒng) | 高精度質(zhì)量流量計(jì)通過(guò)數(shù)據(jù)接口連接電腦，配置軟件實(shí)時(shí)人機(jī)交互界面 四通道質(zhì)量流量控制，可同時(shí)通入四種不同氣體 內(nèi)置不銹鋼混氣箱，每路氣體管路均配有逆止閥 每路氣體進(jìn)氣管路配有不銹鋼針閥 流量規(guī)格：0~30SLM 控制精度：±1.0％F.S |
真空系統(tǒng) | 采用德國(guó)LABOPORT小型抗腐蝕隔膜真空泵，可用于腐蝕性氣體和蒸汽介質(zhì) 真空度可達(dá)7.5x10-1 Torr 可長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)工作，無(wú)須擔(dān)心泵因過(guò)熱保護(hù)而中止實(shí)驗(yàn) 可選配真空表，實(shí)現(xiàn)對(duì)真空及壓力的調(diào)節(jié)控制 配置氣體尾氣處理系統(tǒng) |
冷凝系統(tǒng) | 采用低溫恒溫槽，zui低溫度可達(dá)-20℃ 內(nèi)置不銹鋼真空冷凝灌，采用KF接頭，清理收集方便 槽內(nèi)冷液可外引,冷卻機(jī)外實(shí)驗(yàn)容器,也可在槽內(nèi)直接進(jìn)行低溫、恒溫實(shí)驗(yàn)。 |