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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
RTP快速退火爐由我公司自主研發(fā)的功能強(qiáng)大的加熱設(shè)備。該產(chǎn)品采用進(jìn)口紅外線(xiàn)加熱管加熱，造型新穎結(jié)構(gòu)合理，爐體和爐管可以自由滑動(dòng)，可實(shí)現(xiàn)快速升降溫。爐管內(nèi)尺寸130MM，可以直接放下5英寸的材料。試樣反應(yīng)區(qū)處在一個(gè)密閉的石英腔體內(nèi)，在完成生產(chǎn)工藝的同時(shí)，也大大降低了間接污染試樣的可能性。 | |
RTP快速退火爐主要功能和特點(diǎn)： 1、可視化7寸觸摸屏，設(shè)定數(shù)據(jù)和操作都是圖文界面，操作方便； 2、爐體配備高精度移動(dòng)平臺(tái)，運(yùn)行平穩(wěn)無(wú)抖動(dòng)； 3、爐管可自由移動(dòng)，且密封法蘭之間用搭扣壓緊連接，放、取物料方便快捷，避免了螺栓密封人為操作導(dǎo)致漏氣的可能；減少了因安裝法蘭而造成加熱管損壞的可能；當(dāng)爐管移出爐膛時(shí)冷確風(fēng)扇啟動(dòng)，可實(shí)現(xiàn)試樣的迅速降溫，滿(mǎn)足材料驟冷驟熱的實(shí)驗(yàn)要求； 4、爐膛采用進(jìn)口多晶纖維真空吸附制成，采用進(jìn)口紅外線(xiàn)加熱管加熱，使用壽命可達(dá)5000小時(shí)，升溫速度快，zui高溫度可達(dá)1050℃。 5、預(yù)留了真空、氣路快速接口，可配合我司真空系統(tǒng)、混氣系統(tǒng)使用； 6、預(yù)留了485轉(zhuǎn)換接口，可通過(guò)我司軟件，與計(jì)算機(jī)互聯(lián)，可實(shí)現(xiàn)單臺(tái)或者多臺(tái)電爐的遠(yuǎn)程控制、實(shí)時(shí)追蹤、歷史記錄、輸出報(bào)表等功能； 7、設(shè)置超溫報(bào)警并斷電，漏電保護(hù)，操作安全可靠。 | |
RTP快速退火爐主要用途和適用范圍： 用于半導(dǎo)體器件研發(fā)及生產(chǎn)等領(lǐng)域，可滿(mǎn)足離子注入后的快速退火、歐姆接觸快速合金、硅化物合金退火，氧化物生長(zhǎng)以及銅銦鎵硒光伏應(yīng)用中的硒沉積等快速熱處理工藝場(chǎng)合。 | |
RTP快速退火爐技術(shù)參數(shù)： | |
產(chǎn)品型號(hào) | RTP-1100（通過(guò)歐盟CE認(rèn)證，證書(shū)編號(hào)：GB/1067/4189/12 Issue 1） |
爐體結(jié)構(gòu) | 雙層殼體結(jié)構(gòu)，高精度移動(dòng)平臺(tái) |
爐膛材質(zhì) | 日本技術(shù)真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，保溫性能好 |
爐管材質(zhì) | 高純石英管；Φ140*450mm，有效試樣空間：5英寸 |
密封法蘭 | 不銹鋼快速擠壓密封法蘭 |
溫控系統(tǒng) | 溫度控制系統(tǒng)采用觸摸屏操作，人工智能調(diào)節(jié)技術(shù)，具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能，并可編制30段升降溫程序；控溫精度±1℃ |
顯示模式 | 液晶觸摸屏顯示 |
加熱元件 | 進(jìn)口紅外燈管 |
測(cè)溫元件 | N型熱電偶（可選配內(nèi)置熱電偶，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)加熱物料溫度） |
使用溫度 | zui高溫度1050℃，連續(xù)工作溫度≤1000℃ |
升溫速度 | 推薦≤20℃/ sec，zui快升溫速度50℃/sec |
降溫速度 | 200℃以上≤25min |
恒溫區(qū) | 加熱區(qū)長(zhǎng)度200mm |
尺寸和重量 | 設(shè)備：610*1150*550mm （深*寬*高）； 凈重 85kg |
機(jī)器電源 | AC220V，50/60Hz；額定功率15kw |
執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn) | GB/T 10066.1-2004、GB/T 10067.4-2005 |
可選真空 | ≤50Pa（常規(guī)機(jī)械泵+指針壓力表），≤10Pa（高配機(jī)械泵+數(shù)顯壓力表） |
可選混氣 | 多通道浮子、質(zhì)量混氣系統(tǒng) |
選購(gòu)件 | 爐架，各種石英、剛玉坩堝，石英管，高溫手套，計(jì)算機(jī)控制軟件等。 |