實驗名稱：基于積分器的壓電陶瓷執(zhí)行器位移自感知的實驗驗證

　　測試設備：電壓放大器、壓電陶瓷執(zhí)行器、積分器、電容位移傳感器、低通濾波器、計算機等。

　　實驗過程：

　　圖1：基于積分器的壓電陶瓷執(zhí)行器位移自感知實驗系統(tǒng)

　　實驗系統(tǒng)如圖1所示，由計算機、A/D及D/A數(shù)據(jù)采集卡、電壓放大器、二級隔振工作臺、壓電陶瓷執(zhí)行器、積分器、放電回路、電容位移傳感器、減法放大器、低通濾波器組成。其中銅片、電容位移傳感器、減法放大器、低通濾波器構(gòu)成獨立的測試系統(tǒng)，用來同基于積分器的壓電陶瓷位移自感知執(zhí)行器的感知結(jié)果進行比較。

　　實驗結(jié)果：

　　圖2：驅(qū)動電壓波形不同時積分器檢測的電荷和電容位移傳感器檢測的位移

　　圖2（a）一2（f）示出了驅(qū)動頻率為5Hz、驅(qū)動電壓為幅值衰減的正弦波、幅值衰減的三角波和任意波形時，積分器檢測的電荷和電容位移傳感器檢測的位移。

　　由圖2各圖可見，積分器和電渦流位移傳感器各自獨立獲得的執(zhí)行器位移曲線的一致性較好?？梢姡诜e分器的自感知方法能夠很好地檢測出壓電陶瓷執(zhí)行器的位移信號。

　　電壓放大器推薦：ATA-2161

　　圖：ATA-2161高壓放大器指標參數(shù)

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