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當(dāng)前位置：> 供求商機(jī)> FS-N 系列半導(dǎo)體氣動(dòng)泵
高速?zèng)_程
高速?zèng)_程 (FS-80N最高達(dá)200 spm)，讓結(jié)構(gòu)緊湊、重量輕、成本低，可同時(shí)用于高流量及高壓力工況。
無(wú)污染設(shè)計(jì)
過(guò)流端采用氟樹(shù)脂無(wú)污染構(gòu)造，使用的軸封顯著降低顆粒的產(chǎn)生(已申請(qǐng))。
高流量及高吐出壓力
最大吐出量高達(dá)0.7MPa，不僅滿足化學(xué)供藥過(guò)程中高流量及高吐出壓力的需求，同時(shí)適用于清洗及CMP制程。
傳感器驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)
內(nèi)置式開(kāi)關(guān)通過(guò)傳感器驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)打開(kāi)/關(guān)閉電磁閥。因此，即使連接各種控制器，亦可以輕易控制吐出量。
規(guī)格
最大吐出量 | 100 L/min |
最大吐出壓力 | 0.7 MPa |
最大耗氣量 | 1495 NL/min |
最大沖程率 | 100 spm |
主要材質(zhì) | PTFE, PFA |
液體輸送溫度范圍 | 5 ~ 60 °C |
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