為了顯示材料的真實顯微組織，準確的觀察、辨別、記錄和測量，正確的試樣制備過程是*的。試樣的制備質量是決定檢測結果的關鍵因素，猶如那句經典的計算機諺語所說：“如果輸入的是垃圾，那么輸出的也是垃圾。”
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【陶瓷】
陶瓷材料特別硬和脆，可能含有孔洞，必須用金剛石切割片切割。如果試樣需要熱腐蝕，那么試樣鑲嵌時就必須考慮樣品還要從樹脂中取出，此時環(huán)氧樹脂真空填充孔洞可以不考慮。由于陶瓷自身的特點，不需要考慮變形和塑性流變的問題，但制備過程中可能會產生裂紋晶粒破裂的問題。
熱壓氮化硅組織 (不的黏結劑)
(未腐蝕，500X )
脫落是陶瓷制備的主要問題，因為通常會把脫落當成孔洞。研磨方法采用金屬黏結金剛石盤，硬研磨盤或硬拋光布的機械制備方法。SiC砂紙對陶瓷材料幾乎無效，因為兩者幾乎一樣硬。因此在所有的制備步驟中，幾乎全部使用金剛石。陶瓷材料制備時的載荷比較高，經常超過手工制備的載荷。本篇文章中列出了兩種常用的陶瓷制備程序。
MasterPolish 2 懸浮液用于陶瓷后的制備步驟，獲得的表面光潔度要高于1μm的金剛石拋光。
【陶瓷材料】
方案一：
方案二：
【實用小貼士】
使用切割片，在盡可能靠近需要制備、需要檢查的平面處進行切割，這樣除了把可能的損傷量降到少外，還能為隨后制備提供好的表面。粗磨相當慢，應盡量想辦法避免組織結構的損傷。
制備時候可能需要粗的研磨劑。然而，粗的研磨劑可能導致嚴重的晶粒脫落，因此在研磨過程中，盡量使用細的研磨劑以減少晶粒脫落現象。
難熔材料組織：鋁(基體)，氧化鋯(灰色)，硅(白色) (未腐蝕，200x)
Si-SiC 陶瓷 10%草酸電解腐蝕(500X)
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