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羅茨泵真空泵機組
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真空系統:
是由真空泵、真空計、真空罐、控制集成箱及其它元件如真空閥門、冷阱等,借助于真空管道,按一定要求組合而成,并具有所需抽氣功能的抽氣裝置。它的職能是在一定的時間、空間內獲得真空,保持真空,確保系統內某項工藝過程或物理過程的實施。
真空系統存在的泵的名詞解釋:
主泵:在真空系統中,用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵,如真空鍍膜機中的油擴散泵就是主泵。
前級泵:用于維持某一真空泵前級壓強低于其臨界前級壓強的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片泵或滑閥泵就是前級泵。
粗抽泵:從大氣壓下開始抽氣,并將系統壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。如真空鍍膜機中的滑閥泵,就是粗油泵。
維持泵:在真空系統中,氣量很小時,不能有效地利用前級泵。為此配置一種容量較小的輔助泵來維持主泵工作,此泵叫維持泵。如擴散泵出口處配一臺小型旋片泵,就是維持泵。
事實上簡單的真空系統只是能獲得一個粗真空,而想要獲得高真空時,通常在真空系統中串聯一個高真空泵,比如羅茨泵和螺桿泵等都是獲得高真空的泵。當串聯一個高真空泵之后,通常要在高真空泵的入口和出口分別加上閥門,以便高真空泵能單獨保持真空。如果所串聯的高真空泵是一個油擴散泵,為了防止大量的油蒸氣返流進入被抽容器,通常在油擴散泵的入口加一個捕集器——水冷障板。根據要求,還可以在管路中加上除塵器、真空繼電器規(guī)頭、真空軟連接管道、真空泵入口放氣閥,散熱器等等,這樣就構成了一個較完善的高真空系統。
真空系統主泵類型的確定:
真空系統保養(yǎng)維護:
1、定期檢查真空泵,做好真空泵的日常維護工作。
2、定期清理及更換真空泵進氣口真空過濾器濾芯。
3、定期檢查電氣控制。
4、定期檢查真空管路及真空罐的密封情況。
羅茨泵真空泵機組?? 產品圖
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