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            目錄:上海昊量光電設(shè)備有限公司>>激光測(cè)量設(shè)備>>干涉儀>> Xper WLI白光干涉儀

            白光干涉儀
            • 白光干涉儀
            參考價(jià) 面議
            具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
            參考價(jià) 面議
            具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
            • 品牌 其他品牌
            • 型號(hào) Xper WLI
            • 廠商性質(zhì) 代理商
            • 所在地 上海市
            屬性

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            更新時(shí)間:2021-06-02 09:46:18瀏覽次數(shù):2135評(píng)價(jià)

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            Xper WLI 是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。白光干涉儀

            白光干涉儀

            Xper WLI 是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。

             

            優(yōu)勢(shì):

            價(jià)格優(yōu)勢(shì):市場(chǎng)上性價(jià)比的白光干涉儀

            簡(jiǎn)單易用:只需將樣品放置于樣品臺(tái)上,即可直接進(jìn)行測(cè)量;

            可以測(cè)量非接觸式非平坦樣品:由于光學(xué)輪廓測(cè)量法是一種非接觸式技術(shù),可以輕松測(cè)量彎曲和其他非平面表面。還輕松地測(cè)量曲面的表面光潔度,紋理和粗糙度。除此之外,作為一種非接觸式方法光學(xué)輪廓儀不會(huì)像探針式輪廓儀那樣損壞柔軟的薄膜。

            無(wú)需更換耗材:只需要一個(gè)LED光源,無(wú)需其他配件更換;

            可視化3D功能:Xper WLI輪廓儀具有強(qiáng)大的處理軟件,軟件除包括表面粗糙度,形狀和臺(tái)階高度的測(cè)量外,還可以任意角度移動(dòng)樣品量測(cè)三維圖形,多角度分析樣品圖像。

             

            應(yīng)用領(lǐng)域:

            納米尺度的厚度和輪廓檢測(cè)

            WLI和PSI模式轉(zhuǎn)換

            工業(yè)應(yīng)用:樣品和輪廓檢測(cè)

            樣品類型:半導(dǎo)體晶圓,納米器件,生物材料,MEMS:微電子機(jī)械系統(tǒng),lED發(fā)光二極管

            規(guī)格

            原理:白光干涉原理

            用途:表面三維剖面測(cè)量,表面粗糙度測(cè)量

            Z軸分辨率:1.75nm 

            CCD 分辨率:2464*2056

            掃描范圍:30 μm

            物鏡:10X, 20X, 50X, 100X

            照明:LED

            PSI模式濾光片組件:532,633nm(可見光范圍:400-750nm) 

            軟件功能:自動(dòng)實(shí)驗(yàn)條件設(shè)置

            后期處理:平滑處理/ z軸控制因子設(shè)置/偏移控制,X / Y軸輪廓提取

             

            成像案例:

            半導(dǎo)體器件

            牙齒表面分析

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