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低噪聲的內(nèi)置場效應(yīng)管的半導(dǎo)體核輻射探測器
閱讀：1663 發(fā)布時(shí)間：2018-11-26
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體核輻射探測器使用的光電二極管和級前置放大器的場效應(yīng)管?，F(xiàn)有的核輻射探測器使用的光電二極管和場效應(yīng)管為兩個(gè)部件，固定在同一基板上，彼此連接采用金絲點(diǎn)焊。由于金絲有大約10mm長，其分布電容大約在0.2pf左右。
本發(fā)明將光電二極管和場效應(yīng)管光刻在同一片硅片上，這樣場效應(yīng)管柵極和光電二極管之間幾乎是直接相連，大大降低分布電容，其分布電容大約在0.01~0.02pf。因此該系統(tǒng)因分布電容產(chǎn)生的噪聲遠(yuǎn)小于現(xiàn)有的核輻射探測器。