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            北京恒奧德儀器儀表有限公司
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            本儀器主要用于測量大直徑的單晶硅和多晶硅的電阻率分布情況

            時間:2018/9/6閱讀:1108
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            本儀器主要用于測量大直徑的單晶硅和多晶硅的電阻率分布情況,以便硅材料的切割和。

                為適應(yīng)大規(guī)模集成電路的迅猛發(fā)展,別是計算機芯片、內(nèi)存的發(fā)展,越來越多的使用到了大直徑、純度、均勻度更的單晶硅材料。目前,在美、德等的業(yè)家,均采用了二探針法,使用二探針檢測儀來測量大直徑單晶硅的電阻率分布情況。

            儀器符合美ASTM 《“F391-77”關(guān)于二探針測量硅單晶試驗方法》的標準,是種新型的半導(dǎo)體電阻率測試儀,適合半導(dǎo)體材料廠和器件廠用于二探針法測量單晶硅和多晶硅半導(dǎo)體棒狀材料的體電阻率,從而步判斷半導(dǎo)體材料的性能,導(dǎo)和監(jiān)視操作,也可以用來測量金屬材料的電阻,儀器具有測量度、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便、型美觀等點。也可以配四探針測試頭作常規(guī)的四探針法測量硅晶體材料。

                儀器分為儀表電氣控制箱、測試臺、探頭三分,儀表電氣控制箱由靈敏度直數(shù)字電壓表、抗干擾隔離性能的電源變換裝置、穩(wěn)定度恒源和電氣控制分組成。測量結(jié)果由大型LED數(shù)字顯示,零位穩(wěn)定、輸入阻抗,并設(shè)有自校能。在棒狀材料使用二探針法測試時,具有系數(shù)修正能,從面板輸入相應(yīng)的修正系數(shù),可以直接讀出電阻率,使用方便。測試臺結(jié)構(gòu)新穎,型美觀,可以方便地固定好大小意尺寸的樣品,并可以作逐點選擇步測量,也可以自由選擇固定位置測量,電活動自如,具備鎖定裝置,方便重復(fù)測量。另外還配置了二處記錄板和轉(zhuǎn)椅,測試探頭能自動升降,探針為碳化鎢材料,配置寶石軸承,具有測量度、游移率小、耐磨、使用壽命長點。同時探頭壓力恒定并且可調(diào)整,以適合不同的材料。

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