標(biāo)準(zhǔn)型精密勻膠機(jī) 是一種小型、靈活和經(jīng)濟(jì)的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備，它可以實(shí)現(xiàn)價值百萬美元設(shè)備（track）的上才可能達(dá)到穩(wěn)定性和均勻性。 

　　不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀；工業(yè)級別200瓦伺服電機(jī)系統(tǒng)，采用與track設(shè)備相同設(shè)計(jì)和程序，使您的工藝更具有實(shí)際應(yīng)用意義；同類產(chǎn)品的大達(dá)到50000RPM/S的旋轉(zhuǎn)加速度，確保旋轉(zhuǎn)勻膠的穩(wěn)定性和高的可重復(fù)性。 

主要性能指標(biāo)：  
主機(jī)機(jī)箱采用不銹鋼材料（抗化學(xué)腐蝕易清潔）   
旋涂程序：多可存100組程序，每組100步，每個步驟可精確到0.1秒   
轉(zhuǎn)動速度：0-10,000rpm（更高速可選）   
旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空載）   
馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 < ±1rpm   
轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<1rpm，重復(fù)性< 1rpm   
工藝時間設(shè)定： 0-3,000 sec/step，時間設(shè)置精度：0.1sec   
支持wafer尺寸1cm-200mm（8”圓晶）   
旋涂作業(yè)均勻性：< ±3% 在6英寸范圍內(nèi)（需要去除邊緣3毫米區(qū)域測量）  
標(biāo)準(zhǔn)型精密勻膠機(jī)

產(chǎn)品特性優(yōu)點(diǎn)：  
 內(nèi)部緊湊設(shè)計(jì)，縮小了設(shè)備的尺寸。   
7"觸屏控制面板操作系統(tǒng)，更方便操作。   
on ®/polyethylene “密閉碗”設(shè)計(jì)可適合各種材料勻膠工藝。   
標(biāo)準(zhǔn)配置轉(zhuǎn)速10000rpm，并可根據(jù)用戶需要進(jìn)行定制。  
采用工業(yè)級別伺服電機(jī)，電機(jī)設(shè)計(jì)避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機(jī)內(nèi)部。   
機(jī)身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼，*生銹，便于清洗。   
排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位計(jì)于載片臺之底部 （以利于排風(fēng)效率和勻膠均一性）。   
透明可視，耐化學(xué)腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業(yè)時*隔光阻的溢出及有效隔有毒氣味的散發(fā)。  


產(chǎn)品外型尺寸：  
　　　　　433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備結(jié)構(gòu)  
　　　　306mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 可選分體結(jié)構(gòu) 

產(chǎn)品名稱：分體式勻膠機(jī) 產(chǎn)品型號：SC100-SR

分體式勻膠機(jī) 型號：SC100-SR
　　SC100-SR精密勻膠機(jī)是一種小型、靈活和經(jīng)濟(jì)的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備，它可以實(shí)現(xiàn)價值百萬美元設(shè)備（track）的上才可能達(dá)到穩(wěn)定性和均勻性。 
　　SC100-SR是一種主機(jī)和觸摸屏分開的分體式勻膠機(jī)，主機(jī)被設(shè)計(jì)為更小安裝尺寸或臺面嵌入式安裝來降低操作高度。SC100-SR可與手套箱配套進(jìn)行嵌入式安裝，控制盒放置在臺面上方便移動。 

主要性能指標(biāo)： 
主機(jī)機(jī)箱采用不銹鋼材料（抗化學(xué)腐蝕易清潔）  
旋涂程序：多可存100組程序，每組100步，每個步驟可精確到0.1秒  
轉(zhuǎn)動速度：0-10,000rpm（更高速可選）  
旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空載）  
馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 < ±1rpm  
轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<1rpm，重復(fù)性< 1rpm  
工藝時間設(shè)定： 0-3,000 sec/step，時間設(shè)置精度：0.1sec  
支持wafer尺寸1cm-200mm（8”圓晶）  
旋涂作業(yè)均勻性：< ±3% 在6英寸范圍內(nèi)（需要去除邊緣3毫米區(qū)域測量） 
產(chǎn)品特性優(yōu)點(diǎn)： 
內(nèi)部緊湊設(shè)計(jì)，縮小了設(shè)備的尺寸。  
可進(jìn)行嵌入式安裝，降低操作高度。  

7"觸屏控制面板操作系統(tǒng)，更方便操作。  
on ®/polyethylene “密閉碗”設(shè)計(jì)可適合各種材料勻膠工藝。  
標(biāo)準(zhǔn)配置轉(zhuǎn)速10000rpm，并可根據(jù)用戶需要進(jìn)行定制。  
采用工業(yè)級別伺服電機(jī)，電機(jī)設(shè)計(jì)避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機(jī)內(nèi)部。  
機(jī)身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼，*生銹，便于清洗。  
排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位計(jì)于載片臺之底部 （以利于排風(fēng)效率和勻膠均一性）。  
透明可視，耐化學(xué)腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業(yè)時*隔光阻的溢出及有效隔有毒氣味的散發(fā)。

產(chǎn)品名稱：短波紫外輻照計(jì) 紫外照度計(jì) 產(chǎn)品型號：UVC254

短波紫外輻照計(jì) 紫外照度計(jì)型號：UVC254 
窄帶光譜248nm～262nm，254nm峰值波長 
大規(guī)模集成電路保證高精度和高穩(wěn)定性 
由隔可見光窗口片，窄帶濾光片和砷化鎵傳感器組成的UV探頭。 
鋁合金探頭外殼帶有固定螺孔，方便將探頭安裝在合適的位置進(jìn)行測量。 
測量量程寬，1uW/cm2 ～39.99mW/cm2 

范圍 
本儀表于殺菌，光刻，水處理，醫(yī)療，育種等領(lǐng)域的紫外輻照度測量工作。 
技術(shù)指標(biāo) 
波長范圍： 248nm～262nm 
峰值波長： 254nm 
輻照度測量量程：3999uW/cm2 ，39.99mW/cm2 
分辨率： 1uW/cm2 
紫外帶外區(qū)雜光：＜0.1% 
準(zhǔn)確率：±5%+2個字 
取樣率： 2.5次/秒 
使用環(huán)境：溫度(0～40)℃； 
           濕度＜80%RH 
過載顯示：“OL” 
重量： 350克（含電池，探頭） 
電源： DC 9V （6F22型）電池 
工作電流：約2.7mA 
尺寸：機(jī)體 160x78x43mm 
       傳感器φ40x35mm