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            合肥康帕因設(shè)備技術(shù)有限公司
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            MFC-2Z-供氣系統(tǒng)
            • MFC-2Z-供氣系統(tǒng)

            貨物所在地:安徽合肥市

            更新時間:2025-02-14 21:00:07

            瀏覽次數(shù):29

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            ( 聯(lián)系我們,請說明是在 化工儀器網(wǎng) 上看到的信息,謝謝?。?/p>

            供氣系統(tǒng)如圖是一款2路質(zhì)量流量計控制系統(tǒng),其質(zhì)量流量計和不銹鋼混氣罐都安裝在一個移動柜里,移動柜最大可以承重1000Lbs,所以在與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時,可將設(shè)備置于移動柜上以節(jié)約空間。

            一、設(shè)備描述:

            供氣系統(tǒng)是一款2路質(zhì)量流量計控制系統(tǒng),其質(zhì)量流量計和不銹鋼混氣罐都安裝在一個移動柜里,移動柜最大可以承重1000Lbs,所以在與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時,可將設(shè)備置于移動柜上以節(jié)約空間。各通道氣路的流量設(shè)定和狀態(tài)顯示都集中在一個7"的觸摸屏上,同時可以實時查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。此款設(shè)備廣泛的用于材料界中CVD實驗和各種材料的退火實驗。

            二、技術(shù)參數(shù)                                          

            名稱

            雙通道

            三通道

            四通道

            五通道

            質(zhì)量流量控制器

            工作溫度:5~45oC
            最大壓力:3x106 Pa
            精度: ±1.5% FS
            線性:±(0.5-1.5)%F.S

            重復(fù)精度: ±0.2%F.S.
            流量范圍:
            一路:1~199 SCCM
            二路:1~499 SCCM
            注意:其他流量范圍的可定制,需額外費(fèi)用

            工作溫度:5~45 oC
            最大壓力:3x106 Pa
            精度:±1.5% FS
            線性:±(0.5-1.5)%F.S
            重復(fù)精度:±0.2%F.S.
            流量范圍:
            一路: 0~100 SCCM
            二路: 1~199 SCCM
            三路: 1~499 SCCM
            注意:其他流量范圍的可定制,需額外費(fèi)用

            工作溫度:5~45 oC
            最大壓力:3x106 Pa
            精度:±1.5% FS
            線性:±(0.5-1.5)%F.S.

            重復(fù)精度: ±0.2%F.S.
            流量范圍:
            一路: 0~100 SCCM
            二路: 1~199 SCCM
            三路: 1~199 SCCM
            四路: 1~499 SCCM
            注意:其他流量范圍的可定制,需額外費(fèi)用

            工作溫度: 5~45 oC
            最大壓力:3x106 Pa
            精度:±1.5% FS
            線性:±(0.5-1.5)%F.S.
            重復(fù)精度: ±0.2%F.S.
            流量范圍:
            一路: 0~100 SCCM
            二路: 1~199 SCCM
            三路: 1~199 SCCM
            四路: 1~499 SCCM
            五-九路可按照客戶要求定制

            輸入電源

                   AC 220V/50Hz單相

            功率

                   23W

            PLC觸摸屏

            ·  各通道的氣路設(shè)定和查看都集中在一個7"的觸摸屏上

            · RS485 通訊接口和PC控溫軟件可以連接到電腦上,進(jìn)行遠(yuǎn)程控制

             

            機(jī)械壓力表

            ·  有一機(jī)械壓力表安裝于前面板上,與混氣罐相連接

            ·   量程:-0.1~0.15 MPa

            針閥

            316 不銹鋼

            通氣管道

            ·  內(nèi)部連接管道為Φ不銹鋼管

            ·  外部通氣管道為Φ聚四氟管

            混氣罐

            Φ80X120mm

            截止閥及配件

            ·316不銹鋼針閥

            Φ6mm 不銹鋼管

            外形尺寸

            600mm(L)x745mm(W)x700mm(H)

            質(zhì)量認(rèn)證

            CE認(rèn)證

            質(zhì)保期

            一年質(zhì)保期,終身維護(hù)


            供氣系統(tǒng)



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