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| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 儀器種類(lèi) | 管式爐 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工 |
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
1200度滑動(dòng)式快速退火爐博萊曼特BLMT-1200GH詳細(xì)介紹
1200度滑動(dòng)式快速退火爐博萊曼特為一款滑軌式真空管式爐，可通入混合氣體進(jìn)行低壓力化學(xué)氣相沉積處理。爐體可以在滑軌上移動(dòng)，可使?fàn)t管快速冷卻；本機(jī)可在不同氣氛下，在≤6″的基片上生長(zhǎng)多種薄膜。
控溫儀表操作視頻
產(chǎn)品型號(hào) | 滑動(dòng)式真空管式爐YB-1200GH | ||
| 安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：需要選配冷水機(jī) 2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：如作為CVD系統(tǒng)使用，需自備氣源（標(biāo)準(zhǔn)帶有寶塔接頭，可自費(fèi)改制成為雙卡套接頭） | ||
主要特點(diǎn) | 1、雙層殼體，配有循環(huán)風(fēng)冷系統(tǒng)。爐體采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料，環(huán)保節(jié)能。殼體溫度<70℃。 2、滑軌式結(jié)構(gòu)，方便取放樣品以及快速冷卻。 3、設(shè)有雙K型測(cè)溫?zé)犭娕己鸵粋€(gè)額外的溫度校準(zhǔn)檢測(cè)系統(tǒng)。 4、采用PID控制器，可以設(shè)置30段升降溫程序。 | ||
技術(shù)參數(shù) | 1、電源：?jiǎn)蜗?span style="line-height: 2; overflow-wrap: break-word; font-family: "times new roman", serif; max-width: 886px !important;">220V/380V 8KW 2、石英管：外徑80mm，內(nèi)徑70mm，長(zhǎng)1500mm 3、加熱元件：Ni-Cr-Al電阻絲 4、加熱區(qū)域：400mm 5、恒溫區(qū)域：200mm 6、工作溫度：≤1100℃，連續(xù)工作400℃-1000℃ 7、升降溫速率：≤10℃/min 8、控溫精度：±1℃ 9、真空度：10-2torr（機(jī)械泵），10-5torr（分子泵） 10、熱偶檢測(cè)真空接口：KF-25口：1個(gè) 11、進(jìn)氣接口：2路（可根據(jù)客戶(hù)要求設(shè)計(jì)多路進(jìn)氣），精密不銹鋼針閥密封 12、爐體：1300mm×680mm×920mm 13、滑軌：600mm | ||
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸：1780mm×1780mm×1650mm；重量：354kg | ||
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 1 | 石英管堵 | 1個(gè) |
2 | KF-25真空擋板閥 | 1個(gè) | |
可選配件 | 1、軟件接口 2、K型熱電偶（用于對(duì)爐膛溫度校準(zhǔn)） 3、冷水機(jī) 4、高速雙極旋片泵 5、數(shù)顯真空計(jì) 6、高真空機(jī)組（機(jī)械泵和渦輪分子泵） 5、質(zhì)量流量供氣系統(tǒng) 6、石英樣品架 7、可移動(dòng)爐架（800mm×600mm） | ||
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