安捷倫渦輪分子泵系統(tǒng)的操作注意事項

（1） 不能在前級泵工作時（前級管道接通） 和真空室處于真空狀態(tài)時將渦輪分子泵停掉，否則將會使油蒸汽迅速從前級管路返流到泵的清潔端。

（2） 分子泵系統(tǒng)在停機充干燥氣體前，一定要先將分子泵冷卻水關(guān)閉，且要從泵的高真空端充氣。決不能從泵的前級管路進行充氣。

（3）選擇抽氣系統(tǒng)前級泵的大小時，應(yīng)使渦輪分子泵的前級保持在分子流狀態(tài)下。

（4）不能讓渦輪分子泵在低于額定工作轉(zhuǎn)速下運轉(zhuǎn)。

（5）分子泵入口應(yīng)裝設(shè)防護網(wǎng)，以避免異物進入泵內(nèi)損壞泵轉(zhuǎn)子和定子葉片。

安捷倫渦輪分子泵系統(tǒng)的操作注意事項

盡量避免頻繁啟停

分子泵在勻速工作時，轉(zhuǎn)子葉片僅受到離心力的作用（真空下阻力很小可以忽略不計），即遠離軸心的方向的拉力；而在加速和減速的時候，葉片還受到轉(zhuǎn)動切線方向的力，相當(dāng)于對葉片進行彎折的力。顯而易見，對葉片進行彎折對其疲勞壽命的貢獻更大。

另外，分子泵在加速時功率較大，內(nèi)部發(fā)熱比較嚴(yán)重，頻繁的啟停（兩次啟動間隔<30 分鐘）會造成熱量累積，使分子泵內(nèi)部的溫度過高，加劇軸承磨損。

根據(jù)工藝條件選擇適當(dāng)?shù)睦鋮s

分子泵的冷卻方式有三種：自然冷卻、強制風(fēng)冷和水冷。300 l/s 以下的分子泵，在沒有氣體負載的情況下，可以采用自然冷卻；較大的分子泵或者有一定的氣體負載時，需要選擇強制風(fēng)冷（風(fēng)扇冷卻）；對于有些負載很大的應(yīng)用（比如CVD），或者不方便使用風(fēng)扇的環(huán)境（如輻射環(huán)境），需要采取水冷。