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高精度氣浮轉(zhuǎn)臺，徑向和軸向跳動(dòng)量優(yōu)于008μm /0.05μm

自準(zhǔn)直儀擺角范圍：±100°

高精度角度編碼器，分辨率0.036″，精度優(yōu)于0.2″

壓縮空氣處理單元

自動(dòng)型：高動(dòng)態(tài)范圍的無空回壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電機(jī)，無熱輻射

手動(dòng)型：精細(xì)微調(diào)裝置，具有軟件輔助功能

PbS探測器，配有溫控前置放大器和電源   光譜范圍：1000...2325 nm 

紫外增強(qiáng)CCD相機(jī)   光譜范圍：195...1014 nm 

光電倍增光管（PMT），配有電源及低噪聲前置放大器  光譜范圍：185...320 nm 

科研級鎖相放大器

半導(dǎo)體制冷的快速中長波紅外探測器   光譜范圍：3-12μm

離軸反射式平行光管

分束器

反射鏡表面面形優(yōu)于λ/10  

LED光源

鍍有高反膜

高分辨率CCD相機(jī)

通光孔徑60mm

紫外增強(qiáng)CCD相機(jī)（可選）

有效焦距600mm

UV/IR探測器，配有可調(diào)狹縫

分辨率0.005″，精度0.1″

可調(diào)焦折射式自準(zhǔn)直儀

調(diào)焦范圍±2mm

有效焦距300mm 

通光孔徑50mm

分辨率0.01″，精度0.25″

傾斜調(diào)整臺，可沿3x120°方向做傾斜調(diào)整

旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器，用于樣品旋轉(zhuǎn)調(diào)整

線性驅(qū)動(dòng)器，用于樣品平移調(diào)整

旋轉(zhuǎn)編碼器，用于測量樣品轉(zhuǎn)角

帶有8個(gè)燈座的手動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺

光譜燈電源

后置式反射鏡

HgCd光譜燈的燈箱

可移除式石英聚光鏡

光譜燈電源

斬波器

后置式反射鏡及聚光鏡（可選）

裝有17只濾光片的手動(dòng)或全自動(dòng)濾光片轉(zhuǎn)換器

離軸反射式平行光管

配有精密可調(diào)狹縫

反射鏡表面面形優(yōu)于λ/10

可調(diào)焦折射式平行光管

鍍有高反膜

調(diào)焦范圍±2mm

通光孔徑60mm

通光孔徑50mm

有效焦距600mm

有效焦距300mm