產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
使用超聲波噴霧熱解技術(shù)可以制造均勻的銦錫氧化物(ITO),鋁摻雜的氧化鋅(AZO),氧化鋅(ZnO)和氟摻雜的氧化物層薄膜。這種*的工藝需要專(zhuān)門(mén)的涂層設(shè)備來(lái)制造必要的涂層厚度和形態(tài),并還可以在高溫環(huán)境下噴涂腐蝕性溶液。
在高溫超聲波噴霧熱解過(guò)程中,將諸如ZnO的前體溶液噴霧到加熱至約300-500攝氏度的基材上。溶劑在運(yùn)輸過(guò)程中蒸發(fā),并且ZnO結(jié)晶膜在通常為鈉鈣或其他玻璃的基底表面上形成。基材溫度通常決定了薄膜的形貌特征。
超聲波噴霧沉積提供了一種成本效益高的替代方法,可替代真空沉積法和濺射法,傳輸效率更高。超聲波霧化噴嘴產(chǎn)生的液滴高度均勻,可以實(shí)現(xiàn)最佳尺寸的液滴進(jìn)行熱解反應(yīng),并且所有液滴在沉積過(guò)程中將以相同的方式同時(shí)發(fā)生反應(yīng)。這樣就可以在研發(fā)或大批量生產(chǎn)中實(shí)現(xiàn)高效的TCO生產(chǎn)過(guò)程。
霧化原理:
是通過(guò)壓電換能器將高頻聲波轉(zhuǎn)換成機(jī)械能,再將機(jī)械能轉(zhuǎn)換成液體,這種縱向向上和向下的振動(dòng)在超聲波噴嘴堅(jiān)端的應(yīng)用液體薄膜中產(chǎn)生駐波,在那里這些波的振幅可以由功率發(fā)生器控制。這些靜止的液體波可以從超聲噴嘴的頂端向上延伸,當(dāng)液滴離開(kāi)噴嘴的霧化表面時(shí),被分解成均勻的微米級(jí)甚至納米級(jí)液滴的細(xì)霧。
設(shè)備組成:
整機(jī)由超聲波霧化噴嘴,專(zhuān)用驅(qū)動(dòng)電源,XYZ三軸聯(lián)動(dòng)伺服系統(tǒng),智能化操作系統(tǒng),液體供給系統(tǒng),低速空氣整形裝置,外殼箱體等組成。
霧化噴嘴:
使用鈦合金超聲波噴嘴克服了噴涂高腐蝕性酸的工藝難題,該噴嘴采用耐腐蝕的鈦合金材料制成,即使噴涂高腐蝕性的鹽酸或氫氟酸溶液,也不會(huì)堵塞,可重復(fù),使用壽命長(zhǎng),并提供*的聲學(xué)性能。我們提供類(lèi)型有:長(zhǎng)嘴型--寬噴型--探入型--散射型--聚攏型--線噴型等六種超聲波霧化噴嘴。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):
與CVD(化學(xué)氣相沉積)工藝相比,超聲波噴霧熱解簡(jiǎn)單,靈活且具有成本效益。
久經(jīng)考驗(yàn)的TCO涂層專(zhuān)業(yè)知識(shí)。
超聲波噴嘴比其他噴涂方法沉積更均勻的涂層。
易于調(diào)整和可重復(fù)的涂層參數(shù)。
*集成的轉(zhuǎn)利超聲噴嘴技術(shù)和液體輸送技術(shù),提供了完整的涂層解決方案。
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