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            DTN430C/630C/450C/650C-潔凈厭氧高溫氣氛爐
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            • DTN430C/630C/450C/650C-潔凈厭氧高溫氣氛爐

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            貨物所在地: 上海上海
            產(chǎn)地: 日本雅瑪拓
            更新時間: 2024-06-11 14:34:38
            期: 2024年6月11日--2025年6月11日
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            (聯(lián)系我們,請說明是在 化工儀器網(wǎng) 上看到的信息,謝謝!)

            產(chǎn)品簡介

            DTN430C/630C/450C/650C潔凈厭氧高溫氣氛爐潔凈度100級、氧濃度低于20ppm的氣氛爐,主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓等。

            詳細介紹

            DTN430C/630C/450C/650C潔凈厭氧高溫氣氛爐工作溫度DTN430C/630C:360℃、DTN450C/650C:500℃,潔凈度100級,氧濃度20ppm,DTN430C內(nèi)容積為91L,DTN630C內(nèi)容積為216L,DTN450C內(nèi)容積為91L,DTN650C內(nèi)容積為216L。


            ●潔凈度100級、氧濃度低于20ppm的氣氛爐,主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓等
            ● 高工作溫度 360℃和 500℃、潔凈度 100 級、氧濃度低于20ppm,主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓(光刻膠 PI、PBO 固化)、玻璃基板烘烤、高精度退火處理等
            ● 采用耐熱高性能高效過濾器,箱內(nèi)潔凈度始終保持在 100 級,可在潔凈的環(huán)境下進行高溫烘烤
            ● 高氣密性的壓力箱構(gòu)造,氧濃度到達時間短,N2 消耗量極低
            ● 通過磁密封保持高氣密性,并采用水冷機構(gòu)保護密封部件免受熱量影響
            ● 可實現(xiàn)快速升溫和降溫,升降溫速率可調(diào)節(jié)
            ● 標準裝備有廢液回收裝置,對氣體進行冷卻回收
            安全性
            ● 擁有門檢測開關(guān)、溫度過升防止器、氧濃度異常、氮氣壓力檢測、氮氣流量檢測、冷卻水流量檢測、漏水傳感器、過電流漏電漏電保護開關(guān)等安裝裝置

            DTN430C/630C/450C/650C潔凈厭氧高溫氣氛爐的技術(shù)規(guī)格

             

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